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【实用新型】一种承载件、弹性调节机构以及光学镀膜基片装载装置_沈阳仪表科学研究院有限公司_202322025864.6 

申请/专利权人:沈阳仪表科学研究院有限公司

申请日:2023-07-31

公开(公告)日:2024-04-16

公开(公告)号:CN220788761U

主分类号:C23C14/50

分类号:C23C14/50;G02B1/10

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.16#授权

摘要:本实用新型属镀膜领域,一种承载件,用于光学镀膜基片装载,所述承载件包括承载体和设置在承载体上的连接结构,所述承载体的部分表面与所述光学镀膜基片接触,承载体与所述光学镀膜基片的接触部分为承载面,该承载面为平面。本实用新型的承载件,可以保证组装3mm及以下厚度的镀膜基片时不会顶碎玻璃、石英、硅、锗等基片。使用上述承载件的弹性调节机构可提供更大的支撑力。同时,本实用新型还提出了光学镀膜基片装载装置,应用上述的承载件。

主权项:1.一种承载件,用于光学镀膜基片装载,其特征在于:所述承载件包括承载体和设置在承载体上的连接结构,所述承载体的部分表面与所述光学镀膜基片接触,承载体与所述光学镀膜基片的接触部分为承载面,该承载面为平面。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 沈阳仪表科学研究院有限公司 一种承载件、弹性调节机构以及光学镀膜基片装载装置

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