申请/专利权人：之江实验室;浙江大学

申请日：2021-12-14

公开（公告）日：2024-02-13

公开（公告）号：CN114326322B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G02B27/10;G02B3/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.13#授权;2022.04.29#实质审查的生效;2022.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种基于微透镜阵列和DMD的高通量超分辨激光直写系统。该系统使用一片包括m×m个镜元的微透镜阵列产生m×m束并行光束，结合紫外飞秒激光器、四光束分束器、DMD、合束器、平板光束位移元件、透镜、物镜搭建而成的光路在物镜焦平面上形成2m×2m个焦点点阵分布，将基于微透镜阵列和DMD的激光直写通量提高到原来的4倍，大幅提高直写速度，且每个焦点可由DMD独立调节光强，从而结合直写算法实现任意图形的并行超分辨激光直写。本发明可应用于微透镜阵列、衍射光学元件、光刻掩模板等的快速加工制造。

主权项：1.一种基于微透镜阵列和DMD的高通量超分辨激光直写系统，其特征在于，包括激光器、微透镜阵列、四光束分束器、2个光束数增倍单元、平板光束位移元件、双光束合束镜、多组4f系统；多组4f系统包括物镜；四光束分束器由3个双光束分束器组成；激光器输出的光束，经过微透镜阵列形成m×m个子光束，进入四光束分束器，分束成等光强的4束m×m光束；四光束分束器中同一双光束分束器出射的两光束进入同一光束数增倍单元；每个光束数增倍单元输出两束2m×m光束，一起进入双光束合束镜，经合束后，在物镜焦平面上，形成2m×2m个的焦点点阵；所述光束数增倍单元由2个DMD、平板光束位移元件、双光束合束镜组成，两束m×m光束分别进入2个DMD，独立调控各子光束光强；其中一个DMD出射的光束经过平板光束位移元件，最后两束光在双光束合束镜合束。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 之江实验室;浙江大学 基于微透镜阵列和DMD的高通量超分辨激光直写系统

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