申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2022-06-28

公开（公告）日：2024-02-20

公开（公告）号：CN117581346A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：["20210629 US 17/362,760"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.08#实质审查的生效;2024.02.20#公开

摘要：在本文中提供了用于与快速热处理RTP系统一起使用的气体分配模块及其使用方法的实施方式。在一些实施方式中，用于与RTP腔室一起使用的气体分配模块包含：流体耦接至混合器的第一载气管线和第一液体管线，所述混合器具有一个或多个控制阀，且被配置为将来自第一载气管线的载气和来自第一液体管线的液体以期望的比例混合以形成第一混合物；汽化器，所述汽化器耦接至混合器且被配置为在中空内部容积中接收第一混合物，所述汽化器具有被配置为使第一混合物汽化的加热器；以及第一气体输送管线，所述第一气体输送管线设置在汽化器与RTP腔室之间以将汽化的第一混合物输送至RTP腔室。

主权项：1.一种用于与快速热处理RTP腔室一起使用的气体分配模块，包含：流体耦接至混合器的第一载气管线和第一液体管线，所述混合器具有一个或多个控制阀，且被配置为将来自所述第一载气管线的载气和来自所述第一液体管线的液体以期望的比例混合以形成第一混合物；汽化器，所述汽化器耦接至所述混合器且被配置为在中空内部容积中接收所述第一混合物，所述汽化器具有被配置为使所述第一混合物汽化的加热器；以及第一气体输送管线，所述第一气体输送管线设置在所述汽化器与所述RTP腔室之间以将汽化的所述第一混合物输送至所述RTP腔室。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 具有活性蒸汽产生的快速热处理(RTP)腔室的选择性氧化

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