申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2022-07-13

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117836593A

主分类号：G01J5/90

分类号：G01J5/90;G01J5/02;G01J5/061;G01J5/08;G01J5/52;H01L21/67

优先权：["20210816 US 17/403,693"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本文揭示的实施方式包括一种用于确定高温计的温度误差的方法。在一实施方式中，该方法包含用该高温计的第一传感器测量第一信号及用该高温计的第二传感器测量第二信号。在一实施方式中，该方法进一步包含根据该第一信号及该第二信号确定反射板的反射率，及使用该反射率确定该温度误差。

主权项：1.一种用于确定高温计的温度误差的方法，包含：用所述高温计的第一传感器测量第一信号；用所述高温计的第二传感器测量第二信号；根据所述第一信号及所述第二信号确定反射板的反射率；及使用所述反射率确定所述温度误差。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 用于RTP温度控制系统的高温测量误差检测传感器

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