申请/专利权人：吉林大学

申请日：2023-12-06

公开（公告）日：2024-02-23

公开（公告）号：CN117590518A

主分类号：G02B6/12

分类号：G02B6/12;G02B6/125

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.12#实质审查的生效;2024.02.23#公开

摘要：一种聚合物二氧化硅基单微环辅助可调谐MZI平顶滤波器，属于聚合物信号光波导滤波器技术领域。本发明在马赫·曾德尔干涉器的一调制臂上耦合一个全通型微环谐振器，构成单微环辅助可调谐马赫·增德尔干涉器滤波器，上半部分为微环谐振器，下半部分为包含两个多模干涉器和两个调制臂的四端口MZI结构，上调制臂同样为多模干涉器结构，其上输入端‑输出端接入微环谐振器。本发明能够对输入的信号光波进行相位调控，可实现平顶的透射形态输出，当微环的周长发生微小变化时，可通过调节电极使信号光的相位发生改变，实现稳定的滤波输出。本传输谱顶部平坦，边沿陡峭，3dB带宽为103.6pm，品质因子Q为1.265×104。

主权项：1.一种聚合物二氧化硅基单微环辅助可调谐MZI平顶滤波器，从下至上依次由Si衬底1、SiO2下包层2、聚合物芯层3和聚合物上包层4组成；聚合物芯层3被包覆在聚合物上包层4之中，信号光在聚合物芯层3中传输；其特征于：聚合物芯层3由马赫·增德尔干涉器MZI1和微环谐振器MRR1两部分组成；马赫·增德尔干涉器MZI1为由第一多模干涉器A1、第三多模干涉器A3、上调制臂和下调制臂直波导L11构成的四端口结构，上调制臂由第二多模干涉器A2组成；第一多模干涉器A1、第二多模干涉器A2和第三多模干涉器A3均为3dB多模干涉器，分别带有两个输入端和两个输出端；第一多模干涉器A1和第三多模干涉器A3的分光比为50：50，第二多模干涉器A2的分光比为85：15；信号光从第一弯曲波导L1或第二弯曲波导L2的输入端输入，第一弯曲波导L1和第二弯曲波导L2的输出端分别连接第一多模干涉器A1的两个输入端；第一多模干涉器A1的一个输出端通过第三弯曲波导L3、第一直波导L9连接第二多模干涉器A2下输入端，第二多模干涉器A2下输出端通过第二直波导L10、第五弯曲波导L5连接第三多模干涉器A3的一个输入端；第一多模干涉器A1的另一个输出端通过第四弯曲波导L4、下调制臂直波导L11、第六弯曲波导L6连接第三多模干涉器A3的另一个输入端；第三多模干涉器A3的两个输出端分别连接第七弯曲波导L7和第八弯曲波导L8；微环谐振器MRR1为跑道型结构，由顺次连接的第二多模干涉器A2上输出端、第二弯曲波导R3、直波导R2、第一弯曲波导R1、第二多模干涉器A2上输入端组成；在直波导R2正上方的聚合物上包层之上设置有第一调制电极T1，在下调制臂直波导L11正上方的聚合物上包层之上设置有第二调制电极T2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 吉林大学 一种聚合物/二氧化硅基单微环辅助可调谐MZI平顶滤波器

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