申请/专利权人：上海精测半导体技术有限公司

申请日：2023-10-18

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN117607064A

主分类号：G01N21/21

分类号：G01N21/21;G01N21/27;G01N21/01

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开

摘要：本发明提供一种单旋转椭偏量测设备和双旋转椭偏量测设备的匹配方法及校准装置，包括：基于双旋转椭偏量测设备获取待测样品的测量穆勒光谱；基于单旋转椭偏量测设备获取待测样品的测量NCS光谱；基于测量穆勒光谱和双旋转椭偏量测设备检偏器的检偏角，得到转换NCS光谱；计算转换NCS光谱与测量NCS光谱之间的差异；将该差异与预设阈值比较，基于比较结果，调整至少一个椭偏量测设备的系统参数，直到转换NCS光谱和测量NCS光谱之间的差异不大于预设阈值。本发明直接基于测量穆勒光谱和测量NCS光谱来迭代椭偏量测设备的系统参数，不需要获取待测样品的待测参数，可快速匹配两个椭偏量测设备，完成校准，使得两个椭偏量测设备的测量结果匹配保持一致。

主权项：1.一种单旋转椭偏量测设备和双旋转椭偏量测设备的匹配方法，其特征在于，包括：步骤1，基于双旋转椭偏量测设备获取待测样品的测量穆勒光谱；步骤2，基于单旋转椭偏量测设备获取所述待测样品的测量NCS光谱；步骤3，基于所述测量穆勒光谱和所述双旋转椭偏量测设备检偏器的检偏角，得到转换NCS光谱；步骤4，计算所述转换NCS光谱与所述测量NCS光谱之间的差异；步骤5，比较所述差异与预设阈值，如果所述差异不大于预设阈值，所述单旋转椭偏量测设备和所述双旋转椭偏量测设备匹配；如果所述差异大于预设阈值，调整双旋转椭偏量测设备的系统参数和或单旋转椭偏量测设备的系统参数，直到转换NCS光谱和测量NCS光谱之间的差异不大于预设阈值，使得所述单旋转椭偏量测设备和所述双旋转椭偏量测设备匹配。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海精测半导体技术有限公司 单旋转椭偏量测设备和双旋转椭偏量测设备的匹配方法及校准装置

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