申请/专利权人：无锡市恒利弘实业有限公司

申请日：2022-11-18

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN115725239B

主分类号：C09G1/02

分类号：C09G1/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.27#授权;2023.03.21#实质审查的生效;2023.03.03#公开

摘要：本发明提供了一种清香型抛光液组合物的制备方法，所述抛光液由硅溶胶研磨介质、络合剂、表面活性剂、pH调节剂、香精和去离子水组成，其中络合剂选自对‑羟基苯‑β‑D‑吡喃葡萄糖苷，抛光液具更高的材料去除率和更低的表面粗糙度，获得的抛光材料表面光滑，无划伤，且表面抛光介质残留率低，抛光后处理方便，抛光液组合物具有柠檬气味。

主权项：1.一种清香型抛光液组合物的制备方法，其特征在于包括如下步骤：（1）将颗粒的尺寸集中在20-30nm的硅溶胶研磨介质分散在适量的去离子水中，在搅拌过中加入羟乙基乙二胺，以100-150rpm的速度，常温搅拌10-15min，形成稳定悬浮液；（2）向上述悬浮液中加入对-羟基苯-β-D-吡喃葡萄糖苷，30-35℃下以100-150rpm的速度搅拌2-3min后，补充含有柠檬精的余量常温去离子水；（3）使用二乙烯三胺pH调节剂调节溶液的pH值范围为10-11范围内，获得晶片清香型抛光液组合物；清香型抛光液组合物成分的质量百分比如下：10~25wt%硅溶胶研磨介质：氧化硅磨料介质颗粒的尺寸集中在20-30nm，D98≤40nm；2.5-2.8wt.%对-羟基苯-β-D-吡喃葡萄糖苷；0.5-0.7wt.%羟乙基乙二胺；0.01-0.05wt.%柠檬精香精；pH调节剂：二乙烯三胺，调节pH在10-11范围内；余量去离子水。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡市恒利弘实业有限公司 一种清香型抛光液组合物的制备方法

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