申请/专利权人：芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司

申请日：2019-01-04

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN109678320B

主分类号：C03B5/225

分类号：C03B5/225

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.27#授权;2023.12.15#著录事项变更;2019.05.21#实质审查的生效;2019.04.26#公开

摘要：本发明公开了一种铂金通道环境系统，所述铂金通道环境系统包括铂金通道9、热电偶机构、第一腔室8以及第二腔室1；所述第一腔室8以及所述第二腔室1配置为其腔室内部的温度均能够被调节；所述铂金通道9以及所述热电偶机构的热电偶19均设置在所述第一腔室8中，所述第一腔室8设置在所述第二腔室1中。本发明能够稳定铂金通道周围环境，提高铂金通道环境波动应急处理能力，延长通道的使用寿命，并且还能提高铂金通道温度的稳定性，从而提升玻璃基板的品质。

主权项：1.一种铂金通道环境系统，其特征在于，所述铂金通道环境系统包括铂金通道9、热电偶机构、第一腔室8以及第二腔室1；所述第一腔室8以及所述第二腔室1配置为其腔室内部的温度均能够被调节，所述铂金通道环境系统包括用于调节所述第一腔室8的温度的第一空调17，所述第一空调17通过向所述第一腔室8提供气流的第一进风管6以及从所述第一腔室8排出气流的第一排风管7连通于所述第一腔室8，所述铂金通道环境系统包括用于调节所述第二腔室1的温度的第二空调16，所述第二空调16通过向所述第二腔室1提供气流的第二进风管2以及从所述第二腔室1排出气流的第二排风管3连通于所述第二腔室1；所述铂金通道9以及所述热电偶机构的热电偶19均设置在所述第一腔室8中，所述第一腔室8设置在所述第二腔室1中，所述热电偶机构包括IO柜11、补偿导线12、接线盒18以及保温层20，所述热电偶19通过所述接线盒18以及所述补偿导线12连接于所述IO柜11，所述保温层20包覆于所述接线盒18外。

全文数据：铂金通道环境系统技术领域本发明涉及玻璃基板技术领域，具体地涉及一种铂金通道环境系统。背景技术在玻璃基板例如TFT玻璃基板的生产过程中，铂金通道工艺稳定至关重要。铂金通道周围环境是否稳定对通道的稳定有直接的关系。从大的方面说，铂金通道的周围的环境稳定性的直接关系到通道能否正常生产，环境的波动很大程度上影响到铂金通道的正常使用和使用寿命，甚至可以给铂金通道带来致命的损害。从小的方面说，铂金通道周围的环境不仅仅关系到通道的工艺稳定性，甚至影响产品品质稳定。由于目前铂金通道关键部位均为温度自动控制，温度真实性和稳定性相当主要。铂金通道热电偶显示精度很高精确至0.01℃环境的细微变化均能给热电偶显示温度带来影响。这里所说的而环境变化，包括通道半封闭房间外围环境、通道半封闭房间外围车间环境、通道热电偶参比端接线盒周围环境、热电偶IO柜周围环境，其中任何一个环境波动都会影响通道温度显示波动。而目前，只能保证铂金通道大范围的稳定，但随着客户品质要求越来越高，生产对流量的稳定性也提出更高的要求，从而对热电偶显示精度和稳定性提出更高的要求。发明内容本发明的目的是为了克服现有技术存在的问题，提供一种铂金通道环境系统，能够稳定铂金通道周围环境，提高铂金通道环境波动应急处理能力，延长通道的使用寿命，并且还能提高铂金通道温度的稳定性，从而提升玻璃基板的品质。为了实现上述目的，本发明提供一种铂金通道环境系统，所述铂金通道环境系统包括铂金通道、热电偶机构、第一腔室以及第二腔室；所述第一腔室以及所述第二腔室配置为其腔室内部的温度均能够被调节；所述铂金通道以及所述热电偶机构的热电偶均设置在所述第一腔室中，所述第一腔室设置在所述第二腔室中。优选地，所述铂金通道环境系统包括用于调节所述第一腔室的温度的第一空调，所述第一空调通过向所述第一腔室提供气流的第一进风管以及从所述第一腔室排出气流的第一排风管连通于所述第一腔室。优选地，所述铂金通道环境系统包括用于调节所述第二腔室的温度的第二空调，所述第二空调通过向所述第二腔室提供气流的第二进风管以及从所述第二腔室排出气流的第二排风管连通于所述第二腔室。优选地，所述铂金通道环境系统包括用于连通所述第一进风管与所述第二进风管的应急管道。优选地，所述应急管道中设置有用于将气流由所述第二进风管引流至所述第一进风管的单向引风机。优选地，所述应急管道设有阀门。优选地，所述热电偶机构包括IO柜、补偿导线、接线盒以及保温层，所述热电偶通过所述接线盒以及所述补偿导线连接于所述IO柜，所述保温层包覆于所述接线盒外。优选地，所述铂金通道环境系统包括能够调节室内温度的第三腔室，所述IO柜设置在所述第三腔室中。优选地，所述铂金通道环境系统包括用于调节所述第三腔室的温度的第三空调。优选地，所述IO柜设有用于向所述IO柜内部提供气流的散热风扇以及用于向所述IO柜外部排出气流的排风口。通过上述技术方案，首先将第一腔室内调节成适宜的温度，然后再将第二腔室内调节成适宜的温度，由于第一腔室是设置在第二腔室中的，因此只要将第二腔室的温度保持在合适的范围内，就能够减少外部环境对第一腔室内的温度的影响，相当于稳定铂金通道的周围环境，因此也就能够减少对第一腔室中的铂金通道的温度的影响，从而提升玻璃基板的品质。附图说明图1是本发明的铂金通道环境系统的优选实施方式的结构示意图；图2是本发明的铂金通道环境系统的第一腔室内的结构示意图；图3是本发明的铂金通道环境系统的IO柜的结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。如图1～3所示，本发明的铂金通道环境系统包括铂金通道9、热电偶机构、第一腔室8以及第二腔室1；第一腔室8以及第二腔室1配置为其腔室内部的温度均能够被调节；铂金通道9以及热电偶机构的热电偶19均设置在第一腔室8中，第一腔室8设置在第二腔室1中。由于第一腔室8是设置在第二腔室1中的，因此只要将第二腔室1的温度保持在合适的范围内，就能够减少外部环境对第一腔室8内的温度的影响，相当于稳定铂金通道9的周围环境，因此也就能够减少对第一腔室8中的铂金通道9的温度的影响，从而提升玻璃基板的品质。应当理解的是，第一腔室8以及第二腔室1可以设计为多种形式，例如厂房、箱体等，只要能够提供容纳空间即可。在本发明中，可以使用多种方式调节第一腔室8的温度，例如在第一腔室8中设置金属加热丝，在本发明的优选实施方式中，铂金通道环境系统包括用于调节第一腔室8的温度的第一空调17，第一空调17通过向第一腔室8提供气流的第一进风管6以及从第一腔室8排出气流的第一排风管7连通于第一腔室8。而为了保证温度控制效果，第一腔室8应当设置为半封闭式，也就是说，第一腔室8仅通过第一进风管6和第一排风管7与第一空调17连通，其余部位均为密封结构。通过调节第一空调17，其产生的热风或者冷风通过第一进风管6送入第一腔室8中，能够直接有效地调节第一腔室8内的温度。在本发明中，可以使用多种方式调节第二腔室1的温度，例如在第二腔室1中设置加热棒，而在本发明的优选实施方式中，铂金通道环境系统包括用于调节第二腔室1的温度的第二空调16，第二空调16通过向第二腔室1提供气流的第二进风管2以及从第二腔室1排出气流的第二排风管3连通于第二腔室1。为了保证温度控制效果，第二腔室1应当设置为半封闭式，也就是说，第二腔室1仅通过第二进风管2和第二排风管3与第二空调16连通，其余部位均为密封结构。通过调节第二空调16，其产生的热风或者冷风通过第二进风管2送入第二腔室1中，能够直接有效地调节第二腔室1内的温度。当用于调节第一腔室8的温度的第一空调17出现故障时，仍然需要维持第一腔室8内的温度处于适宜温度，因此，优选地，铂金通道环境系统包括用于连通第一进风管6与第二进风管2的应急管道21。当第一空调17出现故障时，只需相应地调整第二空调16，使第二空调16产生的热风或者冷风通过应急管道21进入第一进风管6，再进入第一腔室8中，以实现对第一腔室8内的温度进行调节的目的。为使应急管道21中的气流流向仅能够由第二进风管2流向第一进风管6，而不至于使第一腔室8的气流通过第一进风管6流至第二空调16，优选地，应急管道21中设置有用于将气流由第二进风管2引流至第一进风管6的单向引风机5。在第一空调17未出现故障时，需要保证第一进风管6与第二进风管2相对独立地工作，因此，优选地，应急管道21设有阀门4。也就是说，第一空调17未出现故障时，阀门4关闭从而阻断应急管道21，当第一空调17出现故障时，打开阀门4并启动单向引风机5，将第二空调16排出的热风或者冷风通过第二进风管2引流至第一进风管6。具体地，热电偶机构包括IO柜11、补偿导线12、接线盒18以及保温层20，热电偶19通过接线盒18以及补偿导线12连接于IO柜11，保温层20包覆于接线盒18外。由于在接线盒18外包覆设有保温层20，因此能够避免接线盒18周围局部风速、风向发生变化以及人员点检走动、靠近而造成接线盒18内的温度变化，进而影响热电偶19的显示温度波动的问题。由于热电偶19通过IO柜11进行信号的输入与输出，为保证热电偶19的温度显示稳定性，优选地，铂金通道环境系统包括能够调节室内温度的第三腔室10，IO柜11设置在第三腔室10中。也就是说，通过调节第三腔室10的温度处于适宜状态，从而保证IO柜11能够正常工作，因此能够保证热电偶19的温度显示稳定性。在本发明中，可以使用多种方式调节第三腔室10的温度，例如在第三腔室10中设置加热棒，而在本发明的优选实施方式中，铂金通道环境系统包括用于调节第三腔室10的温度的第三空调15。并且，为了更加直接有效地控制IO柜11的温度，可以将第三空调15直接设置在第三腔室10内，由于第三空调15是设置在第三腔室10内部的，因此第三腔室10可以设置为完全封闭的腔体，进而保证内部温度的可控性。为了使IO柜11的内部能够保持适宜的温度，优选地，IO柜11设有用于向IO柜11内部提供气流的散热风扇14以及用于向IO柜11外部排出气流的排风口13。需要说明的是，本发明的第一空调17、第二空调16、第三空调15不仅仅能够调节腔室内的温度，还能对腔室内的湿度、压力、露点等环境参数进行调节，而这些调节功能是现有很多空调设备都可以实现的，因此本发明不对空调的具体结构做阐述也并不会影响本发明的技术方案的实施。本发明由于设置有多个可调温度的腔室，从而提高了铂金通道环境波动应急处理能力，进而提升了玻璃基板的品质。以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于此。在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。但这些简单变型和组合同样应当视为本发明所公开的内容，均属于本发明的保护范围。

权利要求：1.一种铂金通道环境系统，其特征在于，所述铂金通道环境系统包括铂金通道9、热电偶机构、第一腔室8以及第二腔室1；所述第一腔室8以及所述第二腔室1配置为其腔室内部的温度均能够被调节；所述铂金通道9以及所述热电偶机构的热电偶19均设置在所述第一腔室8中，所述第一腔室8设置在所述第二腔室1中。2.根据权利要求1所述的铂金通道环境系统，其特征在于，所述铂金通道环境系统包括用于调节所述第一腔室8的温度的第一空调17，所述第一空调17通过向所述第一腔室8提供气流的第一进风管6以及从所述第一腔室8排出气流的第一排风管7连通于所述第一腔室8。3.根据权利要求2所述的铂金通道环境系统，其特征在于，所述铂金通道环境系统包括用于调节所述第二腔室1的温度的第二空调16，所述第二空调16通过向所述第二腔室1提供气流的第二进风管2以及从所述第二腔室1排出气流的第二排风管3连通于所述第二腔室1。4.根据权利要求3所述的铂金通道环境系统，其特征在于，所述铂金通道环境系统包括用于连通所述第一进风管6与所述第二进风管2的应急管道21。5.根据权利要求4所述的铂金通道环境系统，其特征在于，所述应急管道21中设置有用于将气流由所述第二进风管2引流至所述第一进风管6的单向引风机5。6.根据权利要求4所述的铂金通道环境系统，其特征在于，所述应急管道21设有阀门4。7.根据权利要求1所述的铂金通道环境系统，其特征在于，所述热电偶机构包括IO柜11、补偿导线12、接线盒18以及保温层20，所述热电偶19通过所述接线盒18以及所述补偿导线12连接于所述IO柜11，所述保温层20包覆于所述接线盒18外。8.根据权利要求7所述的铂金通道环境系统，其特征在于，所述铂金通道环境系统包括能够调节室内温度的第三腔室10，所述IO柜11设置在所述第三腔室10中。9.根据权利要求8所述的铂金通道环境系统，其特征在于，所述铂金通道环境系统包括用于调节所述第三腔室10的温度的第三空调15。10.根据权利要求8或9所述的铂金通道环境系统，其特征在于，所述IO柜11设有用于向所述IO柜11内部提供气流的散热风扇14以及用于向所述IO柜11外部排出气流的排风口13。

百度查询： 芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司 铂金通道环境系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD