申请/专利权人：安徽熙泰智能科技有限公司

申请日：2023-07-14

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN220537908U

主分类号：C23C16/04

分类号：C23C16/04;C23C16/455

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.27#授权

摘要：本实用新型公开了一种用于OLED器件TFE‑CVD镀膜的掩模版以及镀膜设备，其中，所述掩模版包括：掩模版框体、若干条平行设置在掩模版框体中部的横向金属条以及若干条平行设置在掩模版框体中部且分别与横向金属条交叉设置的纵向金属条，相邻两条横向金属条与相邻的两条纵向金属条围绕形成与玻璃基板上的多个显示面板一一对应的开口区，横向金属条和纵向金属条能够将上方喷出的工艺气体向金属条的两侧导流至开口区内部。该掩模版在使用时克服现有技术中，掩模版与玻璃基板之间不是百分百压合，会有一定的缝隙，尤其是使用次数多了以后，该间隙会有变大的趋势，工艺气体在该缝隙处发生化学反应，产生膜层，从而形成shadow问题。

主权项：1.一种用于OLED器件TFE-CVD镀膜的掩模版，其特征在于，所述掩模版包括：掩模版框体1、若干条平行设置在掩模版框体1中部的横向金属条21以及若干条平行设置在掩模版框体1中部且分别与横向金属条21交叉设置的纵向金属条22，其中，相邻的两条横向金属条21与相邻的两条纵向金属条22围绕以形成与待镀膜玻璃基板上的多个显示面板一一对应的开口区3，结构相同的横向金属条21和纵向金属条22能够将上方喷出的工艺气体向金属条的两侧导流至开口区3内部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽熙泰智能科技有限公司 一种用于OLED器件TFE-CVD镀膜的掩模版以及镀膜设备

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