申请/专利权人：科廷表面科技(浙江)有限公司

申请日：2023-12-01

公开（公告）日：2024-03-01

公开（公告）号：CN117626201A

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35;C23C14/06;C23C14/54;C23C14/50

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.19#实质审查的生效;2024.03.01#公开

摘要：本发明属于等离子涂层技术领域，具体的说是一种DLC溅射等离子涂层工艺及涂层装置，包括真空室，所述真空室顶端安装有固定架，所述固定架的底端固接有喷射组件，所述喷射组件包括喷射源、靶材，所述真空室的内部且位于喷射组件的下方转动连接有转动架，所述转动架通过外部伺服电机驱动，所述转动架的外部均匀开设有多个安装槽，所述安装槽外部设置有弹性限位框架，所述转动架的内部插接有连接架，所述连接架的内部固接有多个偏压电极，多个所述偏压电极与安装槽一一对应；通过供电组件的设计，使得转动架内部的其他的偏压电极不需要时刻供电，实现了仅对待加工的工件进行通电镀覆的效果，达到了节省能源的目的。

主权项：1.一种DLC溅射等离子涂层装置，其特征在于：包括真空室1，所述真空室1顶端安装有固定架2，所述固定架2的底端固接有喷射组件3，所述喷射组件3包括喷射源、靶材，所述真空室1的内部且位于喷射组件3的下方转动连接有转动架4，所述转动架4通过外部伺服电机驱动，所述转动架4的外部均匀开设有多个安装槽，所述安装槽外部设置有弹性限位框架15，所述转动架4的内部插接有连接架5，所述连接架5的内部固接有多个偏压电极10，多个所述偏压电极10与安装槽一一对应，所述喷射组件3与偏压电极10相对时可以产生负偏压进而能够在待镀工件表面镀上一层致密的膜层，所述转动架4内部设置有供电组件，所述供电组件用以向只正对于喷射组件3的安装槽所对应的偏压电极10供电。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 科廷表面科技(浙江)有限公司 一种DLC溅射等离子涂层工艺及涂层装置

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