申请/专利权人：上海健照半导体科技有限公司

申请日：2024-01-12

公开（公告）日：2024-03-01

公开（公告）号：CN117631480A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.19#实质审查的生效;2024.03.01#公开

摘要：本发明公开了一种光刻机工艺菜单远程控制系统，包括工艺菜单模块与远程调控模块，工艺菜单模块用于对光刻机进行控制，远程调控模块用于与工艺菜单模块进行连接。本发明所有光刻机可以通过控制模块进行统一的调整，确保各个光刻机数据源的一致性，消除了手动逐个操作的繁琐，方便生产使用，其次，本发明通过远程操作，工程师可以在办公室等场所进行编辑，减少了进入洁净间的频率，既保证了洁净间的洁净度，又降低了工程师的工作量。另外，通过存储模块的设置，实现了异地双备份，有效避免了由于设备故障而导致工艺菜单丢失的风险。由此，本系统不仅提升了操作的便捷性，更加强了数据的安全性，为企业的生产流程提供了更为可靠的支持。

主权项：1.一种光刻机工艺菜单远程控制系统，其特征在于：包括工艺菜单模块1与远程调控模块2，所述工艺菜单模块1用于对光刻机进行控制，所述远程调控模块2用于与工艺菜单模块1进行连接，远程对工艺菜单模块1进行调控，所述工艺菜单模块1包括手动控制模块3、存储模块4和远程控制模块5；所述手动控制模块3用于手动对数据进行调整，从而对光刻机进行调控；所述存储模块4用于在对光刻机进行操作时，将操作记录进行存储备份；所述远程控制模块5用于与远程调控模块2进行连接，连接支持TCPIP协议；所述远程调控模块2包括界面转化模块11、网络传输模块14与控制模块15；所述界面转化模块11用于将工艺菜单模块1中的控制截面转化为与远程设备相符合的页面，方便使用者的控制；所述网络传输模块14用于与远程控制模块5建立远程控制网络；所述控制模块15用于对数据进行调整，并将调整的数据由网络传输模块14实时传输，同时能够将各个光刻机的工艺菜单进行调整。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海健照半导体科技有限公司 一种光刻机工艺菜单远程控制系统

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