申请/专利权人：北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所

申请日：2023-10-27

公开（公告）日：2024-03-01

公开（公告）号：CN117631640A

主分类号：G05B23/02

分类号：G05B23/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.19#实质审查的生效;2024.03.01#公开

摘要：四象限探测器专用测试系统，包括激光部分、机械运动部分、软件和控制部分等，控制电路接受控制软件系统指令后分别对激光器、衰减器和步进电机驱动器，通过串联连接电缆实现各个单元的控制和数据信息获取，激光器和光功率计进行通信过程中特征数据和电信号的采集与控制，控制软件系统用于控制多场景测试模式，各硬件模块之间采用USB2.0与RS232接口进行通信。该测试系统及装置用于四象限探测器的性能测试，主要包括四象限探测器对脉冲激光的响应和位置测量的准确性。

主权项：1.四象限探测器专用测试系统，其特征在于：包括激光部分、机械运动部分、软件和控制部分；软件和控制部分控制激光部分输出激光，激光部分输出的激光输出激光通过光纤分束器分为两部分，一部分用于脉冲激光峰值测量，一部分用于四象限探测器测量；机械运动部分用于实现用于四象限探测器测量的激光光斑在空间上位置的精密移动；软件和控制部分用于控制多场景测试模式，并控制每个场景测试模式下激光部分按要求输出以及机械运动部分的运动控制。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 四象限探测器专用测试系统

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