申请/专利权人：南京大学

申请日：2023-12-08

公开（公告）日：2024-03-05

公开（公告）号：CN117647848A

主分类号：G01V8/10

分类号：G01V8/10;G01J1/44

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.22#实质审查的生效;2024.03.05#公开

摘要：本发明公开了一种甚长波红外双极化探测单元及阵列式动态电感探测器，所述甚长波红外双极化探测单元通过周期结构单元按照数目规律竖向周期设置，使得电感吸收器的外轮廓成圆形，有效增强电感吸收器的吸收频率；所述阵列式探测装置包括若干个甚长波红外双极化探测单元，每个甚长波红外双极化探测单元搭配相同中心工作频率的电感吸收器和不同谐振频率的叉指电容器，当待测甚长波红外信号的电磁波频率与电感吸收器的中心工作频率一致时，待测甚长波红外信号被谐振探测单元阵列最大程度地吸收，且最大程度地被甚长波红外双极化探测单元检测。本发明检测甚长波红外信号灵敏度高，易于片上集成，制备工艺简单方便，读出系统简单，易于推广。

主权项：1.一种甚长波红外双极化探测单元，其特征在于，包括叉指电容器21、氮化硅衬底22和电感吸收器23，所述电感吸收器23为设置在氮化硅衬底22表面的曲折电感，曲折电感从起始端开始以上下迂回的方式走线；所述电感吸收器23包括依次连接的左馈线231、若干个重复单元和右馈线238，每个重复单元由1个周期结构、1个左短肢、1个水平折线237和1个右短肢组成，所有周期结构竖向平行设置；所述电感吸收器23设置在叉指电容器21的底部，电感吸收器23的左馈线231与叉指电容器的左桥肩217连接，电感吸收器23的右馈线238与叉指电容器的右桥肩216连接；叉指电容器21、氮化硅衬底22和电感吸收器23连接成甚长波红外双极化探测单元2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京大学 一种甚长波红外双极化探测单元及阵列式动态电感探测器

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