申请/专利权人：北京工业大学

申请日：2023-11-16

公开（公告）日：2024-03-05

公开（公告）号：CN117646257A

主分类号：C25D1/00

分类号：C25D1/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.22#实质审查的生效;2024.03.05#公开

摘要：本发明公开了一种基于行星轮系自转与公转相耦合的旋转阴极超精密晶圆级电铸机，包括电铸机壳体、电源存放区、PLC电气控制触摸屏、电源，电铸机阴极工作区域内设有行星轮系传动机构及液压升降杆，传动机构下方连接阴极夹具，阴极工作区域内设有电铸槽，电铸槽侧面上方设有溢流槽，阴极工作区域下方设有储液槽，储液槽内有传感器，循环过滤泵连接储液槽，储液槽连接有外置储水槽、外置储液槽及外置储液槽，外置储水槽、外置储液槽及外置储液槽分别配有补水泵、一号补液泵及二号补液泵，电铸机下方设有滚轮，工作区域及储液区域分别设有推拉门板。本发明改善电铸镀层厚度均匀性，实现微纳金属模具的超精密电铸加工。

主权项：1.一种基于行星轮系自转与公转相耦合的旋转阴极超精密晶圆级电铸机，其特征在于，包括电铸机壳体1、电源存放区2、PLC电气控制触摸屏3和电源4，电铸机的阴极工作区域内设有行星轮系传动机构5及液压升降杆7，传动机构下方连接圆盘8与阴极夹具6，阴极工作区域内设有电铸槽9；电铸槽9内设有阳极钛篮26、阳极连接棒11及六爪形喷头25，电铸槽9侧面上方设有溢流槽10；阴极工作区域下方设有储液槽12，储液槽12内有pH传感器13，高液位传感器22和低液位传感器23及加热器14，循环过滤泵21连接储液槽12，储液槽12连接有外置储水槽16、外置储液槽18及外置储液槽20，外置储水槽16、外置储液槽18及外置储液槽20分别配有补水泵15、一号补液泵17及二号补液泵19，电铸机下方设有滚轮24，工作区域及储液区域分别设有推拉门板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京工业大学 一种基于行星轮系自转与公转相耦合的旋转阴极超精密晶圆级电铸机

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