申请/专利权人：浚辅科技股份有限公司

申请日：2023-07-27

公开（公告）日：2024-03-05

公开（公告）号：CN220556587U

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;B25J13/08;B25J9/16;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.05#授权

摘要：本实用新型为有关一种机械手臂自动补正装置，主要结构包括机械手臂，机械手臂上设有光学摄影机构，机械手臂的一侧设有晶圆存放机构，晶圆存放机构上则设有图像资讯码，光学摄影机构信息连接有光学辨识模组，光学辨识模组内具有资讯码解析单元、物距解析单元、及晶圆中心解析单元。借此，使用者能先通过光学摄影机构拍摄图像资讯码，来进行机械手臂第一次的位置补正动作，再让光学摄影机构拍摄晶圆并进行对焦动作，利用物距解析单元配合晶圆中心解析单元，计算出机械手臂与晶圆中心点的距离，以达到第二次补正的效果。借此通过此种方式达到快速准确的补正动作。

主权项：1.一种机械手臂自动补正装置，其特征在于，主要包含：机械手臂；晶圆存放机构，所述晶圆存放机构设于所述机械手臂的一侧；图像资讯码，所述图像资讯码设于所述晶圆存放机构上；光学摄影机构，所述光学摄影机构设于所述机械手臂上；光学辨识模组，所述光学辨识模组信息连接所述光学摄影机构及所述机械手臂；资讯码解析单元，所述资讯码解析单元设于所述光学辨识模组内，可以解析所述图像资讯码，以取得相关位置信息；物距解析单元，所述物距解析单元设于所述光学辨识模组内并与所述资讯码解析单元信息连接，所述物距解析单元通过所述光学摄影机构内透镜的焦距、及透镜与所述光学摄影机构内的感光成像位置之间的距离，计算出所述光学摄影机构与所述晶圆存放机构内的晶圆的晶圆距离；及晶圆中心解析单元，所述晶圆中心解析单元设于所述光学辨识模组内并与所述资讯码解析单元信息连接，以通过所述机械手臂与所述光学摄影机构之间的距离、晶圆距离、及晶圆的宽度，计算出所述机械手臂与晶圆中心点的距离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浚辅科技股份有限公司 机械手臂自动补正装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD