申请/专利权人：南京邮电大学

申请日：2022-01-27

公开（公告）日：2024-03-08

公开（公告）号：CN114442303B

主分类号：G02B23/00

分类号：G02B23/00;G02B7/00;H02N2/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.08#授权;2022.05.24#实质审查的生效;2022.05.06#公开

摘要：本发明公开了一种基于压电陶瓷堆栈的微位移促动器，包括两个压电陶瓷堆栈、刚性导向块、柔性传力块、复合传力块、滑杆、基座和外壳，所述两个压电陶瓷堆栈按照伸缩方向平行固定于基座上；所述刚性导向块和复合传力块分别固定于两个压电陶瓷堆栈的自由端；所述柔性传力块固定于基座的凹槽中；所述滑杆穿过基座通过刚性导向块、柔性传力块和复合传力块共同挤压固定，其挤压压力满足：任意两处挤压接触的摩擦力之和大于剩余一处挤压接触的摩擦力；所述外壳通过基座上的限位槽进行定位固定。本发明结构简单易加工，刚性强，稳定性高，适合作为极端条件下的扫描探针显微镜和精密光学系统的微调定位装置使用。

主权项：1.一种基于压电陶瓷堆栈的微位移促动器，其特征在于：包括第一压电陶瓷堆栈1a、第二压电陶瓷堆栈1b、刚性导向块2、柔性传力块3、复合传力块4、滑杆5和基座6，两个压电陶瓷堆栈按照伸缩方向平行、彼此面对面垂直固定于基座6的一端面上；刚性导向块2与复合传力块4分别固定于两个压电陶瓷堆栈自由端的彼此相对面上；柔性传力块3固定于基座6面向压电陶瓷堆栈端面的凹槽中；滑杆5穿过柔性传力块3、基座6，滑杆5设置在两个压电陶瓷堆栈之间，且与柔性传力块3挤压接触，滑杆5通过刚性导向块2、柔性传力块3和复合传力块4共同挤压固定、垂直于基座6，其挤压压力满足：任意两处挤压接触的摩擦力之和大于剩余一处挤压接触的摩擦力；通过对第一压电陶瓷堆栈1a和第二压电陶瓷堆栈1b分别施加一路脉冲电压驱动信号，基于两个压电陶瓷堆栈的自由端在其伸缩方向上的伸缩次序不同，实现滑杆5位置的微位移调节；所述复合传力块4包括限位卡槽与铍铜弹簧片，限位卡槽上设置有预设数量的限位点，铍铜弹簧片的两端固定在限位卡槽上的限位点上，使铍铜弹簧片凸起呈圆弧型，限位卡槽背向铍铜弹簧片的一面与压电陶瓷堆栈的自由端固定，通过铍铜弹簧片与滑杆5挤压接触；所述刚性导向块2采用不锈钢或钛材料加工而成，构成滑杆5移动的导轨；所述柔性传力块3采用铍铜材料加工而成。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京邮电大学 一种基于压电陶瓷堆栈的微位移促动器

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