申请/专利权人：安徽昱升光电科技有限公司

申请日：2023-12-12

公开（公告）日：2024-03-12

公开（公告）号：CN117690850A

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/677

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.29#实质审查的生效;2024.03.12#公开

摘要：本发明公开了一种芯片加工用吸附运转机构及其使用方法，包括连接盒，所述连接盒上设置有吸附机构，所述吸附机构包括呈矩阵布置于分布板上的吸盘；所述吸盘内设置有内吸体，以分别形成第一吸盘腔和第二吸盘腔，还包括固定座，所述吸盘固定安装于所述固定座上；所述固定座内设置有阀体，所述阀体内滑动设置有阀芯，所述阀芯通过拉杆与内吸体连接。该发明提供的芯片加工用吸附运转机构及其使用方法，在原有的吸盘内设置有圆周小于吸盘的内吸体，负压下吸盘负压高度减小，致使内吸体接触芯片盘，双重吸盘设计在降低负压力的基础上增加吸附力，二者相互分力，可以增加双重吸盘吸附的受力。

主权项：1.一种芯片加工用吸附运转机构，其特征在于，包括连接盒18，所述连接盒18上设置有吸附机构9，所述吸附机构9包括呈矩阵布置于分布板902上的吸盘901；所述吸盘901内设置有内吸体9014，以分别形成第一吸盘腔1000和第二吸盘腔2000，还包括固定座9016，所述吸盘901固定安装于所述固定座9016上；所述固定座9016内设置有阀体9020，所述阀体9020内滑动设置有阀芯9019，所述阀芯9019通过拉杆9018与内吸体9014连接；所述阀体9020包括与第一吸盘腔1000连通的第一气道和与第二吸盘腔2000连通的第二气道，所述阀芯9019随内吸体9014同步活动，使第一气道或第二气道分别与固定座9016的气道接通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽昱升光电科技有限公司 一种芯片加工用吸附运转机构及其使用方法

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