申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2018-08-10

公开（公告）日：2024-03-12

公开（公告）号：CN111034367B

主分类号：H05G2/00

分类号：H05G2/00

优先权：["20170825 US 15/687,367"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.12#授权;2020.09.18#实质审查的生效;2020.04.17#公开

摘要：一种靶材料容器包括：包括沿第一方向延伸的通路的结构，该通路被配置为接收沿靶材料路径行进的靶材料；以及偏转器系统，其被配置为从通路接收靶材料。偏转器系统包括多个偏转器元件。每个偏转器元件相对于靶材料的实例沿靶材料路径行进的行进方向以第一锐角被定向，并且偏转器系统中的每个偏转器元件与最近的偏转器元件沿与第一方向不同的第二方向分开一定距离。

主权项：1.一种靶材料容器，包括：结构，包括第一端部、第二端部和侧壁，所述侧壁在第一方向上从所述第一端部处的开口延伸到所述第二端部以限定通路，所述通路被配置为接收沿靶材料路径行进的靶材料；以及偏转器系统，被配置为从所述通路接收靶材料，所述偏转器系统包括从所述第二端部朝向所述开口延伸的多个偏转器元件，其中每个偏转器元件相对于所述靶材料的实例沿所述靶材料路径行进的行进方向以第一锐角被定向，并且所述偏转器系统中的每个偏转器元件与最近的偏转器元件沿第二方向分开一定距离，所述第二方向与所述第一方向不同。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 用于捕获在材料路径上行进的材料的容器

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