申请/专利权人：甬江实验室

申请日：2023-12-06

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117705711A

主分类号：G01N21/01

分类号：G01N21/01;G01N21/39

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：本申请公开了激光气体传感器及其制备方法，所述激光气体传感器包括衬底以及位于衬底一侧的波导组件、激光发射器和光接收器，所述激光发射器位于所述波导组件的一端，所述光接收器位于所述波导组件的另一端；其中，所述波导组件包括包覆层、填充层和金属有机骨架，所述包覆层具有凹槽，所述填充层位于所述凹槽中，所述金属有机骨架位于所述填充层远离所述衬底的一侧，所述填充层的折射率大于所述包覆层的折射率。填充层可以作为波导传感光路，一方面，能够提高光信号的传输效率和探测灵敏度；另一方面，可以调节光在波导传输过程中倏逝场的比例，可以控制与待测目标气体分子接触的激光束的能量比例以提高信噪比。

主权项：1.一种激光气体传感器，其特征在于，包括衬底以及位于衬底一侧的波导组件、激光发射器和光接收器，所述激光发射器位于所述波导组件的一端，所述光接收器位于所述波导组件的另一端；其中，所述波导组件包括包覆层、填充层和金属有机骨架，所述包覆层具有凹槽，所述填充层位于所述凹槽中，所述金属有机骨架位于所述填充层远离所述衬底的一侧，所述填充层的折射率大于所述包覆层的折射率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 甬江实验室 激光气体传感器及其制备方法

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