申请/专利权人：广东省科学院半导体研究所

申请日：2024-02-05

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117706881A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;H01J37/147

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：本发明公开一种电子束偏转模组、电子束聚焦偏转系统及电子束光柱体，电子束偏转模组用于设置在上下极靴内径不一致的物镜中，包括沿着物镜的轴向方向依次设置的至少两个偏转组件，所述偏转组件设置为其内径沿其长度方向呈函数变化，整体电子束偏转模组设置为其偏转场与物镜轴上磁场的一阶导数匹配。本发明由多个偏转组件组合形成，多个偏转组件各自能够对自身的偏转场的调整，同时本发明将物镜轴上磁场的一阶导数划分为与多个偏转组件对应的若干段，使得每个偏转组件的偏转场都能够与物镜轴上磁场的一阶导数的相应段匹配，使得整体电子束偏转模块的偏转场的分布能够与上下极靴内径不一致的物镜的轴上磁场的分布进行叠加与匹配，有效降低偏转像差。

主权项：1.一种电子束偏转模组，用于设置在上下极靴内径不一致的物镜101中，其特征在于，包括沿着物镜101的轴向方向依次设置的至少两个偏转组件，所述偏转组件设置为其内径沿其长度方向呈函数变化，整体电子束偏转模组设置为其偏转场与物镜轴上磁场的一阶导数匹配。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东省科学院半导体研究所 一种电子束偏转模组、电子束聚焦偏转系统及电子束光柱体

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