申请/专利权人：长沙华驰微电子技术有限公司

申请日：2023-12-21

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117723142A

主分类号：G01H9/00

分类号：G01H9/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明提供了一种光纤振动传感器，包括：基座，具有凹槽，凹槽自基座的第一表面延伸至基座中，且凹槽具有侧面和底面；振动元件，位于基座具有第一表面的一侧，且振动元件在底面上具有第一垂直投影；单模光纤，自基座外贯穿侧面至所述凹槽中，单模光纤中位于凹槽中的部分具有第一端和靠近振动元件一侧的出光面，第一端的端面为全反射面，且出光面和全反射面的夹角为锐角，出光面在底面上具有第二垂直投影，第一垂直投影与第二垂直投影至少部分重叠，以使振动元件靠近单模光纤的一侧表面和出光面形成法布里珀罗干涉腔。通过本申请，提高了光纤振动传感器在工程应用中的实用性。

主权项：1.一种光纤振动传感器，其特征在于，包括：基座，具有凹槽，所述凹槽自所述基座的第一表面延伸至所述基座中，且所述凹槽具有侧面和底面；振动元件，位于所述基座具有所述第一表面的一侧，且所述振动元件在所述底面上具有第一垂直投影；单模光纤，自所述基座外贯穿所述侧面至所述凹槽中，所述单模光纤中位于所述凹槽中的部分具有第一端和靠近所述振动元件一侧的出光面，所述第一端的端面为全反射面，且所述出光面和所述全反射面的夹角为锐角，所述出光面在所述底面上具有第二垂直投影，所述第一垂直投影与所述第二垂直投影至少部分重叠，以使所述振动元件靠近所述单模光纤的一侧表面和所述出光面形成法布里珀罗干涉腔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长沙华驰微电子技术有限公司 光纤振动传感器

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