申请/专利权人：苏州六九新材料科技有限公司

申请日：2023-12-22

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117718477A

主分类号：B22F7/06

分类号：B22F7/06;C23C14/32;B22F3/15;C23C14/35

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本申请涉及物理气相沉积镀膜靶材的技术领域，具体公开了一种高强度镶嵌复合靶材及其制备方法。该制备方法具体包括以下步骤：将成型处理后的基体材料和成型处理后的镶嵌材料加工成设计的形状，将加工后的基体材料和加工后的镶嵌材料通过机械压力复合后装入包套，进行脱气及热等静压处理；热等静压后的铸坯去除所述包套、机加工，获得复合靶材。本申请通过对镶嵌复合靶材进行热等静压处理，使基体材料和镶嵌材料在界面处发生扩散连接，实现无缝过渡，可避免在使用过程中出现基体材料和镶嵌材料分离的问题，可同时满足磁控溅射工艺和电弧离子镀工艺的应用。

主权项：1.一种高强度镶嵌复合靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法具体包括以下步骤：将成型处理后的基体材料和成型处理后的镶嵌材料加工成设计的形状，将加工后的基体材料和加工后的镶嵌材料通过机械压力复合后装入包套，进行脱气及热等静压处理；热等静压后的铸坯去除所述包套、机加工，获得复合靶材。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州六九新材料科技有限公司 一种高强度镶嵌复合靶材及其制备方法

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