申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-09-19

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117721430A

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50;C23C16/458

优先权：["20220919 KR 10-2022-0118201"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.19#公开

摘要：本公开涉及一种沉积装置。根据一实施例的沉积装置包括：磁体部，包括多个磁体；以及基板支撑部，与所述磁体部面对并能够支撑基板，其中，所述基板支撑部包括：支撑板；以及多个图案，形成在所述支撑板的第一表面上，其中，所述多个图案中的每一个与所述多个磁体中的相邻的磁体之间的空间对应地布置或与所述磁体对应地布置。

主权项：1.一种沉积装置，包括：磁体部，包括多个磁体；以及基板支撑部，与所述磁体部面对并能够支撑基板，其中，所述基板支撑部包括：支撑板；以及多个图案，形成在所述支撑板的第一表面上，其中，所述多个图案中的每一个与所述多个磁体中的相邻的磁体之间的空间对应地布置或与所述磁体对应地布置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 沉积装置

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