申请/专利权人：中山新诺科技股份有限公司

申请日：2023-12-07

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117724301A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G02B7/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开了一种透镜微调机构及光刻系统，其包括：镜架、安装架、连接架、多个顶推结构和锁紧结构；所述顶推结构包括第一楔块和第二楔块，所述第一楔块和所述第二楔块均具有斜面且通过斜面相互抵接；所述第一楔块和所述第二楔块相对滑动时能够配合顶推所述连接架并使得其运动远离所述安装架，各个所述顶推结构能够独立运作。由于连接架在进行转动时，其转动方向可以始终趋近于与第一楔块和第二楔块之间的斜面相切，并且第一楔块和第二楔块可以通过斜面进行相对运动，因此可以有效地避免顶推结构在镜架的转向时因受力方向的改变而发生损坏的问题，进而确保透镜的微调动作可以稳定长久的进行。

主权项：1.一种透镜微调机构，其特征在于，包括：镜架100，用于安装透镜；安装架300，所述镜架100活动连接于所述安装架300并能够运动靠近或远离所述安装架300；连接架200，与所述镜架100连接，所述连接架200能够带动所述镜架100相对于所述安装架300运动；多个顶推结构500，均设置于所述连接架200和所述安装架300之间，所述顶推结构500包括第一楔块580和第二楔块590，所述第一楔块580和所述第二楔块590均具有斜面且通过斜面相互抵接；所述第一楔块580和所述第二楔块590相对滑动时能够配合顶推所述连接架200并使得其运动远离所述安装架300，各个所述顶推结构500能够独立运作；锁紧结构400，设置于所述连接架200和所述安装架300之间并用于对二者施加相互靠近的趋势，所述顶推结构500能够克服所述锁紧结构400对所述连接架200所施加的作用力并推动所述连接架200运动远离所述安装架300。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中山新诺科技股份有限公司 透镜微调机构及光刻系统

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