申请/专利权人：鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司

申请日：2023-12-15

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117721443A

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;F27D19/00;C23C16/52;C23C16/455;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开了一种炉管工艺管路排气压力平衡装置，包括炉管壳体，所述炉管壳体内设有进气管路、排气管路，所述排气管路分为一段管路与二段管路，所述二段管路的内壁设有压力传感器，所述二段管路的上下两侧均设有压力平衡器，所述压力平衡器包括辅助管路，所述辅助管路的两端均设有控制阀门，所述辅助管路内设有负压泵；本发明通过压力平衡器对排气管路内的气体压力进行调节，避免工艺气体在排气管路内的压力不同，保证晶圆片表面成膜厚度的均匀性，保证产品质量。

主权项：1.一种炉管工艺管路排气压力平衡装置，包括炉管壳体（1），所述炉管壳体（1）内设有进气管路（2）、排气管路（3），其特征在于：所述排气管路（3）分为一段管路（31）与二段管路（32），所述二段管路（32）的内壁设有压力传感器（4），所述二段管路（32）的上下两侧均设有压力平衡器（5），所述压力平衡器（5）包括辅助管路（51），所述辅助管路（51）的两端均设有控制阀门（52），所述辅助管路（51）内设有负压泵（53）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司 一种炉管工艺管路排气压力平衡装置

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