申请/专利权人：信利(仁寿)高端显示科技有限公司

申请日：2023-10-12

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220828372U

主分类号：F04D29/52

分类号：F04D29/52;F04D27/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型公开了一种新型分子泵排气接口，包括腔体，所述腔体内部设置有排气口，所述排气口的外部设置有侧向连接件，所述侧向连接件的上端呈矩形体并与所述排气口吻合，其下端呈不规则四面体且底部设置有压力控制装置，所述压力控制装置的底部设置有缓冲层，所述缓冲层的底部设置有分子泵。在分子泵与压力控制装置之间增加缓冲层，阻挡部分冲击能量，防止压力控制装置被破坏，同时增加侧向连接件，改变压力控制装置与腔体连接方式，并在排气口上端增加支撑板与遮挡板，防止破损的叶片进入腔体，防止事故进一步的发生，在干刻设备需要分子泵抽真空时候，其缓冲层与侧向连接件能使分子泵得到缓冲，使其得到平衡的状态，减少因抽真空的事故发生。

主权项：1.一种新型分子泵排气接口，其特征在于，其包括腔体（1），所述腔体（1）内部设置有排气口（2），所述排气口（2）的外部设置有侧向连接件（3），所述侧向连接件（3）的上端呈矩形体并与所述排气口（2）吻合，其下端呈不规则四面体且底部设置有压力控制装置（4），所述压力控制装置（4）的底部设置有缓冲层（5），所述缓冲层（5）的底部设置有分子泵（6）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 信利(仁寿)高端显示科技有限公司 一种新型分子泵排气接口

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