申请/专利权人：上海提牛科技股份有限公司

申请日：2023-12-18

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117727663A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;B08B3/02;B08B13/00;B01F25/72;B01F25/45;B01F25/46;B01F25/452

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种均匀喷射出料管，包括外管和内管，内管插入于外管内并与外管的内壁具有预设距离，内管的一侧伸出于外管并作为原料入口；内管上设置有一排内出料口和至少一个内排料口，内出料口沿内管的轴向成排设置于内管的上端，内排料口设置于内管的下端；外管上设置有至少一组外出料组和至少一个外排料口，每组外出料组具有两排外出料口，两排外出料口沿外管的轴向成排设置于外管的下端周向两侧，外排料口设置于外管的下端。本发明可实现出料管在喷出之前直接均匀混合清洗液的目的。

主权项：1.一种均匀喷射出料管，其特征在于，所述均匀喷射出料管包括外管和内管，所述内管插入于所述外管内并与所述外管的内壁具有预设距离，所述内管的一侧伸出于所述外管并作为原料入口；所述内管上设置有一排内出料口和至少一个内排料口，所述内出料口沿所述内管的轴向成排设置于所述内管的上端，所述内排料口设置于所述内管的下端；所述外管上设置有至少一组外出料组和至少一个外排料口，每组所述外出料组具有两排外出料口，两排所述外出料口沿所述外管的轴向成排设置于所述外管的下端周向两侧，所述外排料口设置于所述外管的下端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海提牛科技股份有限公司 均匀喷射出料管

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