申请/专利权人：株式会社日立高新技术

申请日：2022-06-23

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117730395A

主分类号：H01J49/06

分类号：H01J49/06

优先权：["20210806 JP 2021-129597"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：质量分析装置具有：滤质器，该滤质器包括杆电极37、保持杆电极的保持器38、载置保持器的保持器支承台39、以及利用其弹力将保持器按压固定在保持器支承台上的板簧43；温度传感器48、53；以及根据温度传感器的测定信号控制施加在杆电极上的高频电压的电压值的控制部58，温度传感器相对于板簧固定。

主权项：1.一种质量分析装置，其特征在于，具有：滤质器，该滤质器具备杆电极、保持所述杆电极的保持器、载置所述保持器的保持器支承台、以及利用其弹力将所述保持器按压固定在所述保持器支承台上的板簧；温度传感器；以及控制部，该控制部根据所述温度传感器的测定信号，控制施加在所述杆电极上的高频电压的电压值，所述温度传感器相对于所述板簧固定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社日立高新技术 质量分析装置

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