申请/专利权人：厦门特仪科技有限公司

申请日：2023-11-29

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117723795A

主分类号：G01R1/073

分类号：G01R1/073;G01R31/28

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开了一种探针卡调平机构，包括内层板、中间板、外层板、第一转轴、第二转轴与调平组件；第一转轴与第二转轴均水平设置，且轴向不同；内层板水平设置，内层板顶部用于放置探针卡；中间板套设在内层板的外侧，并且通过第一转轴与内层板相互转动连接；外层板套设在中间板的外侧，并且通过第二转轴与中间板相互转动连接；调平组件至少设置有两组，至少有一组调平组件固定连接中间板，并用于支撑内层板，同时可带动内层板绕着第一转轴转动，至少有一组调平组件固定连接外层板，并用于支撑中间板，同时可带动中间板绕着第二转轴转动。本发明可承托探针卡，并通过调平组件带动内层板与中间板略微转动，进而调平内层板及其所带的探针卡。

主权项：1.一种探针卡调平机构，其特征在于：包括内层板、中间板、外层板、第一转轴、第二转轴与调平组件；所述第一转轴与所述第二转轴均水平设置，且轴向不同；所述内层板水平设置，内层板顶部用于放置探针卡；所述中间板套设在所述内层板的外侧，并且通过所述第一转轴与所述内层板相互转动连接；所述外层板套设在所述中间板的外侧，并且通过所述第二转轴与所述中间板相互转动连接；所述调平组件至少设置有两组，至少有一组调平组件固定连接所述中间板，并用于支撑所述内层板，同时可带动所述内层板绕着所述第一转轴转动，至少有一组调平组件固定连接所述外层板，并用于支撑所述中间板，同时可带动所述中间板绕着所述第二转轴转动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 厦门特仪科技有限公司 一种探针卡调平机构

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