申请/专利权人：东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司

申请日：2023-12-18

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117727609A

主分类号：H01J37/02

分类号：H01J37/02;H01J37/20;H01J37/26;H01J37/28;G01N23/225;G01N23/2251

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本申请提供一种基于振动弛豫的扫描补偿方法、系统及电子设备，包括：基于启动定位信号，生成定位动作指令；基于所述定位动作指令，控制工件台运动并判断是否运动至振动补偿范围；在工件台运动至振动补偿范围的情况下，控制工件台以预设振动弛豫模型的振动形式进行运动，以确定工件台运动过程中的第一位置偏差；基于所述第一位置偏差，生成扫描补偿信号；基于所述扫描补偿信号进行电子束扫描，扫描补偿信号在电子束扫描过程中驱动电子束相对工件台运动。本申请基于振动弛豫的扫描补偿方法通过优化工件台定位流程，降低了电子束扫描成像中由于振动弛豫导致的图像质量下降问题，提升了扫描图像分辨率，提高了成像速度和设备整体产能。

主权项：1.一种基于振动弛豫的扫描补偿方法，其特征在于，包括：基于启动定位信号，生成定位动作指令；基于所述定位动作指令，控制工件台运动并判断是否运动至振动补偿范围；在工件台运动至振动补偿范围的情况下，控制工件台以预设振动弛豫模型的振动形式进行运动，以确定工件台运动过程中的第一位置偏差；基于所述第一位置偏差，生成扫描补偿信号；基于所述扫描补偿信号进行电子束扫描，所述扫描补偿信号在电子束扫描过程中驱动电子束相对工件台运动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司 基于振动弛豫的扫描补偿方法、系统及电子设备

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