申请/专利权人：铠侠股份有限公司

申请日：2021-02-04

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN114074057B

主分类号：B05C5/02

分类号：B05C5/02;B05C11/08;B05C11/10;B05C11/11;B05C13/02;H01L21/027

优先权：["20200818 JP 2020-138231"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.03.11#实质审查的生效;2022.02.22#公开

摘要：实施方式提供一种能够简便地供给粘度不同的多种药液的药液涂布装置及粘度调整瓶。实施方式的药液涂布装置具备：处理部，在衬底涂布药液；药液供给部，可连接药液的供给源；稀释液供给部，可连接稀释药液的稀释液的供给源；粘度调整部，具有粘度调整瓶，所述粘度调整瓶分别从药液供给部及稀释液供给部供给药液及稀释液，并将药液及稀释液混合；以及混合液供给部，将药液及稀释液混合而成的混合液供给到处理部；且粘度调整瓶具有：第1导入口，供药液导入；第2导入口，供稀释药液的稀释液导入；多孔质体，连接到第1及第2导入口，可供从第1及第2导入口导入的药液及稀释液流通；以及排出口，连接到多孔质体，将药液与稀释液的混合液排出。

主权项：1.一种药液涂布装置，具备：处理部，在衬底涂布药液；药液供给部，可连接所述药液的供给源；稀释液供给部，可连接稀释所述药液的稀释液的供给源；粘度调整部，具有粘度调整瓶和粘度计，所述粘度调整瓶分别从所述药液供给部及所述稀释液供给部供给所述药液及所述稀释液，并将所述药液及所述稀释液混合，所述粘度计测定由所述粘度调整瓶产生的混合液的粘度；以及混合液供给部，基于所述粘度计的测定值，当所述混合液达到所需粘度时，使所述混合液供给到所述处理部，当所述混合液未达到所需粘度时，使所述混合液返回到所述药液供给部；且所述粘度调整瓶具有：第1导入口，供所述药液导入；第2导入口，供稀释所述药液的稀释液导入；多孔质体，连接到所述第1导入口及第2导入口，可供从所述第1导入口及第2导入口导入的所述药液及所述稀释液流通；以及排出口，连接到所述多孔质体，将所述药液与所述稀释液的混合液排出；其中所述粘度调整部或所述混合液供给部具有阀门，通过切换所述阀门，切换将所述混合液供给到所述处理部和将所述混合液返回到所述药液供给部，且反复将所述混合液返回到所述药液供给部，直到所述混合液到达所需粘度为止，所述多孔质体具有从上游侧向下游侧排列的多个副体，在所述多个副体的各个中，所述多孔质体的多个孔的直径从上游侧向下游侧变小。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 铠侠股份有限公司 药液涂布装置及粘度调整瓶

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD