申请/专利权人：TDK株式会社

申请日：2021-04-22

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN113555297B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68

优先权：["20200423 JP 2020-076675"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2021.11.12#实质审查的生效;2021.10.26#公开

摘要：本发明提供一种板状对象物的排列检测装置和使用了该装置的装载端口，该板状对象物的排列检测装置中，将判断窗口与由拍摄单元拍摄的拍摄图像重叠，来判断形状匹配率，在判断的形状匹配率为规定值以下的情况下，判断为在与由拍摄单元拍摄的图像重叠的判断窗口内不存在板状对象物。第一基准线是在判断窗口内连续的直线，第二基准线是在判断窗口内排列成直线状的不连续的线段的集合。

主权项：1.一种板状对象物的排列检测装置，其特征在于，具有：拍摄单元，其相对于以规定间隔排列于容器内的板状对象物，配置成可在相对于所述板状对象物的平面大致垂直方向上相对移动，且可在拍摄画面内沿着至少一个所述板状对象物的端缘拍摄至少一部分；判断窗口设定单元，其基于与单一的所述板状对象物的端缘对应的主图像，沿着与所述端缘的厚度对应的宽度且大致平行的一对图像浓淡分界线，在判断窗口内设定第一基准线和第二基准线；形状判断单元，其将由所述判断窗口设定单元设定的所述判断窗口与由所述拍摄单元拍摄的拍摄图像重叠，来判断形状匹配率；对象物判断单元，其在由所述形状判断单元判断的形状匹配率为规定值以下的情况下，判断为在与由所述拍摄单元拍摄的图像重叠的所述判断窗口内不存在所述板状对象物；和面积计算单元，其在由所述对象物判断单元判断为存在所述板状对象物的情况下，在所述判断窗口内，探索基于由所述拍摄单元拍摄的实际的拍摄图像的大致平行的一对图像浓淡分界线，所述第一基准线是在判断窗口内连续的直线，所述第二基准线是在所述判断窗口内排列成直线状的不连续的线段的集合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： TDK株式会社 板状对象物的排列检测装置和装载端口

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