申请/专利权人：中南大学;湖南中南鸿思自动化科技有限公司

申请日：2021-09-15

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN113745966B

主分类号：H01S5/06

分类号：H01S5/06;H01S5/02255

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2021.12.21#实质审查的生效;2021.12.03#公开

摘要：本发明涉及半导体激光器技术领域，特别涉及一种阵列式反射镜自动耦合封装方法，包括如下步骤：反射镜按预设的姿态上料并定位；拾取反射镜并检测拾取定位精度；将反射镜移动至光器件的耦合位置完成耦合，通过检测光器件的光功率确认耦合精度；对反射镜点胶固化；重复上述步骤完成多个反射镜的耦合封装。本发明将反射镜从料盘中拾取后检测确认拾取精度，确保反射镜拾取定位的准确性，再移动至耦合位置完成耦合封装，通过检测光功率的方式确认耦合精度，使光器件上阵列式分布的反射镜能依次耦合封装，提升了耦合封装的效率及质量。

主权项：1.一种阵列式反射镜自动耦合封装方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、反射镜按预设的姿态上料并定位；S2、拾取反射镜并检测拾取定位精度；S3、将反射镜移动至光器件的耦合位置完成耦合，通过检测光器件的光功率确认耦合精度；S4、对反射镜点胶固化；S5、重复S2-S4完成多个反射镜的耦合封装；S2和S3中通过多自由度的反射镜夹具拾取反射镜；S2中采用视觉检测相机检测反射镜相对于反射镜夹具的位置；S2包括如下子步骤：S21、反射镜夹具拾取反射镜并移动至检测点；S22、视觉检测相机确认反射镜相对于夹头拾取定位的偏差；S23、反射镜夹具将反射镜放置于中转位置；S24、反射镜夹具调整拾取姿态后对反射镜二次拾取；其中，所述中转位置位于光器件外侧的平台上，所述反射镜夹具将反射镜放置于平台后，先向上抬升预设的距离，再微调修正姿态，最后向下移动预设的距离后二次拾取反射镜；S3中光功率检测通过光功率积分球系统完成，所述光功率积分球系统对准光器件的出射光束；对第N个反射镜耦合检测光功率时，光功率积分球系统检测的光功率与实时标准功率对比，所述实时标准功率为标准功率的N倍，所述标准功率对应单个反射镜；通过阵列式反射镜自动耦合封装装置对光器件耦合封装，阵列式反射镜自动耦合封装装置包括夹具组件、装料组件、器件夹持组件、点胶组件以及视觉检测组件；器件夹持组件包括器件夹持平台，器件夹持平台上形成有器件夹持槽，器件夹持槽将待封装的光器件夹持定位，器件夹持组件还包括光功率积分球系统，光功率积分球系统与出射光束对准以检测出射光功率，确认耦合精度，当第一个反射镜耦合时，光功率积分球系统检测的光功率对应单个发光单元，而第二个反射镜耦合时，出射光束为第一个发光单元与第二个发光单元的合束，因此检测的光功率对应两个发光单元，以此类推，使全部的反射镜均完成预设精度的耦合。

全文数据：

权利要求：

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