申请/专利权人：无锡市好达电子股份有限公司

申请日：2023-04-03

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN116470878B

主分类号：H03H9/17

分类号：H03H9/17;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/54

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2023.08.08#实质审查的生效;2023.07.21#公开

摘要：本申请关于一种横向激励薄膜体声波谐振器，涉及射频滤波器领域。包括基板，位于基板上的压电功能膜以及位于压电功能膜上的叉指换能器电极；压电功能膜具体包括压电材料区和非压电绝缘材料区，压电材料和非压电绝缘材料具有不同的声阻抗；通过设置非压电绝缘材料区的位置，使多根第二电极指的第一包络线与第一非压电绝缘材料区的第二边缘的距离、以及多根第一电极指的第二包络线与第二非压电绝缘材料区的第四边缘的距离、均不超过3μm。本申请提供的横向激励薄膜体声波谐振器可以解决现有器件终存在的横向模式杂波的过大、过多的问题。

主权项：1.一种横向激励薄膜体声波谐振器，包括基板，位于所述基板上的压电功能膜以及位于所述压电功能膜上的叉指换能器电极；所述叉指换能器电极包括相互交错插入的多根第一电极指和多根第二电极指，以及在所述第一电极指、所述第二电极指指条延伸方向上相互对置的第一汇流条和第二汇流条；多根所述第一电极指和多根所述第二电极指都具有各自的第一端部和第二端部；多根所述第一电极指的第一端部与所述第一汇流条直接连接，多根所述第一电极指的第二端部与所述第二汇流条间隔对置；多根所述第二电极指的第一端部与所述第二汇流条直接连接，多根所述第二电极指的第二端部与所述第一汇流条间隔对置，其特征在于：将通过连结多根所述第二电极指的第二端部而形成的假想线设为第一包络线，将通过连结多根所述第一电极指的第二端部而形成的假想线设为第二包络线，将所述第一包络线与所述第二包络线之间的区域设为双电极指区域；所述压电功能膜具体包括由压电材料形成的压电材料区和由非压电绝缘材料形成的非压电绝缘材料区，所述压电材料和所述非压电绝缘材料具有不同的声阻抗；所述非压电绝缘材料区至少包括第一非压电绝缘材料区和第二非压电绝缘材料区，所述第一非压电绝缘材料区位于所述第二包络线的接近所述第一汇流条的一侧，所述第二非压电绝缘材料区位于所述第一包络线的接近所述第二汇流条的一侧；所述第一非压电绝缘材料区具有远离所述双电极指区域的第一边缘和接近所述第一包络线的第二边缘，所述第一包络线与所述第二边缘的沿所述第一电极指、所述第二电极指指条延伸方向上的距离不超过3μm；所述第二非压电绝缘材料区具有远离所述双电极指区域的第三边缘和接近所述第二包络线的第四边缘，所述第二包络线与所述第四边缘的沿所述第一电极指、所述第二电极指指条延伸方向上的距离不超过3μm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡市好达电子股份有限公司 横向激励薄膜体声波谐振器

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