申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2024-01-03

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117490604B

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2024.02.23#实质审查的生效;2024.02.02#公开

摘要：本发明涉及面形检测技术领域，具体提供一种光学平面面形绝对检测方法，基于四平面法对参考镜、辅助透射镜和待检镜的四个平面进行依次干涉，获得一组欠定方程组，利用方程式的加减消元，剔除光学不均匀性的影响；对辅助透射镜进行旋转，利用Moore‑Penrose广义逆矩阵，在柱坐标系下得到辅助透射镜的绝对面形数据，进而在重力解耦的情况下得到各个面的面形误差；利用波长调制干涉仪得到辅助透射镜与待检镜的干涉结果，计算得到TF镜重力形变，进而获得待检镜在无重力耦合条件下的绝对面形。本发明基于现有的四平面法绝对检测技术，对辅助透射镜的光学不均匀性和重力形变等影响因素进行了标定和剔除，极大提升了大口径光学平面面形检测的精度。

主权项：1.一种光学平面面形绝对检测方法，定义：参考镜的平面为A，辅助透射镜的两侧平面为B和C，待检镜的平面为D，其特征在于，包括以下步骤：S1：利用波长调制干涉仪对平面A和D进行直接干涉；将辅助透射镜设置在参考镜和待检镜之间，利用波长调制干涉仪将平面A依次与B、C和D进行干涉；翻转辅助透射镜交换B和C的位置，利用波长调制干涉仪将平面A依次与B、C和D进行干涉；获得欠定方程组，并解耦出辅助透射镜的波前偏差；将欠定方程组中含波前偏差的项去除，获得干涉结果方程组；S2：将辅助透射镜沿轴向旋转角度，利用波长调制干涉仪对平面A和C进行干涉，根据旋转前、后平面A和C间的干涉结果，计算得到笛卡尔坐标系下的面形变化量；利用Moore-Penrose广义逆矩阵计算辅助透射镜在柱坐标系下的绝对面形数据，并结合干涉结果方程组计算获得各平面在重力解耦下的绝对面形；S3：利用波长调制干涉仪对平面B和C进行干涉，结合干涉结果方程组计算获得辅助透射镜的重力形变；基于辅助透射镜的重力形变和在重力解耦下的绝对面形计算获得待检镜无重力影响的绝对面形。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种光学平面面形绝对检测方法

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