申请/专利权人：朗姆研究公司

申请日：2017-07-24

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN110506326B

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/683

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2019.12.20#实质审查的生效;2019.11.26#公开

摘要：一种边缘环被配置为在衬底处理系统中经由一个或多个升降销相对于衬底支撑件升高和降低。所述边缘环还被配置为在所述边缘环的调整过程中与从衬底支撑件的底部环和或中部环向上延伸的引导特征对接。所述边缘环包括：上表面；环形内径；环形外径；下表面；以及环形凹槽，所述环形凹槽被布置在所述边缘环的所述下表面中，以与所述引导特征对接。所述环形凹槽的壁是基本竖直的。

主权项：1.一种边缘环，其被配置为在衬底处理系统中经由一个或多个升降销相对于衬底支撑件升高和降低，其中，所述边缘环还被配置为在所述边缘环的调整过程中与从衬底支撑件的底部环和或中部环向上延伸的引导特征对接，所述边缘环包括：上表面；环形内径；环形外径；下表面；以及环形凹槽，其被布置在所述边缘环的所述下表面中，以与所述引导特征对接，其中所述环形凹槽的壁是基本竖直的,其中，所述环形凹槽的深度为所述边缘环的厚度的至少50％，并且根据所述边缘环的可调范围来选择所述环形凹槽的深度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗姆研究公司 可移动的边缘环设计

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