申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2019-04-04

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN112088069B

主分类号：B24B37/22

分类号：B24B37/22;B24B37/24;B29C64/112;B33Y10/00;B33Y70/10

优先权：["20180507 US 62/668,244"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2021.05.25#实质审查的生效;2020.12.15#公开

摘要：在一个实施方式中，提供了一种形成多孔抛光垫的方法。所述方法包含用3D打印机沉积多个复合层以达到目标厚度。沉积多个复合层包含将可固化树脂前驱物组成物的一个或多个液滴分配到支撑件上。沉积多个复合层进一步包含将孔隙度形成组成物的一个或多个液滴分配到支撑件上，其中孔隙度形成组成物的至少一种成分是可移除的，以在多孔抛光垫中形成孔。

主权项：1.一种形成抛光垫的方法，包含：用3D打印机沉积多个复合层以达到目标厚度，其中沉积所述多个复合层包含：将可固化树脂前驱物组成物的一个或多个液滴分配到支撑件上，其中所述可固化树脂前驱物组成物包含阴离子X-以及具有式I的阳离子单体： 其中R是H或CH3，R1、R2和R3可为相同或不同的，并且可各自彼此独立地为直链或支链C1至C8烷基；以及凝固所述多个复合层以形成垫主体，其中所述阳离子单体的疏水性部分嵌入到所述垫主体的垫基质中，并且所述阳离子单体的亲水性部分暴露在所述垫主体的垫表面上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 亲水性和Z电位可调谐的化学机械抛光垫

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