申请/专利权人:埃地沃兹日本有限公司
申请日:2020-07-03
公开(公告)日:2024-03-19
公开(公告)号:CN113994128B
主分类号:F16K1/00
分类号:F16K1/00;F16K1/38;F16K31/02
优先权:["20190711 JP 2019-129673"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.19#授权;2022.06.28#实质审查的生效;2022.01.28#公开
摘要:在真空泵装置中能够以比较简单的构造实现均等排气。真空泵部(1)具备外转子(12)和内定子(11);升降式闸阀部(2)具备阀体(21)和阀座(22),阀体(21)沿着真空泵部(1)的旋转轴方向相对于阀座(22)升降。而且,内定子(11)具备贯通孔(11c),所述贯通孔(11c)沿着真空泵部(1)的旋转轴方向;对阀体(21)进行支承的支承部件(23)的至少一部分被配置于贯通孔(11c)。
主权项:1.一种真空泵装置,其特征在于,具备:真空泵部,具备转子和定子,将进入到吸气口的气体分子从排气口排出;以及升降式闸阀部,具备阀体和阀座,前述阀体沿着前述真空泵部的旋转轴方向相对于前述阀座升降;前述定子具备贯通孔,所述贯通孔沿着前述真空泵部的旋转轴;对前述阀体进行支承的支承部件的至少一部分被配置于前述贯通孔;设置有圆筒形状的波纹管,以防止前述气体分子进入到前述贯通孔的上部开口部。
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权利要求:
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