申请/专利权人：佳能特机株式会社

申请日：2020-04-17

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN112301313B

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24

优先权：["20190729 JP 2019-138876"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.08.16#实质审查的生效;2021.02.02#公开

摘要：本发明提供一种喷嘴单元、坩埚、蒸发源以及蒸镀装置，其能够抑制液体状或固体状的蒸镀材料到达基板的蒸镀面。喷嘴单元设有具有喷嘴部212的喷嘴部件210，和设置在比喷嘴部件210更靠坩埚的容器本体的内部侧的位置的中板部件220，中板部件220具有供蒸镀材料通过的多个贯通孔223c，并且，从作为利用蒸镀材料蒸镀的蒸镀面上的任意位置的第一点，到达作为多个贯通孔223c内的任意位置的第二点的所有线段，被构成喷嘴单元200的多个部件中的至少任意一个部件遮挡。

主权项：1.一种喷嘴单元，安装在坩埚的容器本体的开口部，其特征在于，具有喷嘴部件和中板部件，所述喷嘴部件具有排出蒸镀材料的喷嘴部；所述中板部件设置在比所述喷嘴部件更靠所述容器本体的内部侧的位置，所述中板部件具有凸形状部，所述凸形状部具备所述喷嘴部件侧的顶板部和设置有供蒸镀材料通过的多个贯通孔的侧壁，所述凸形状部向所述喷嘴部件侧突出，并且，从作为利用所述蒸镀材料蒸镀的蒸镀面上的任意位置的第一点，到达作为所述多个贯通孔内的任意位置的第二点的所有线段，被构成喷嘴单元的多个部件中的至少任意一个部件遮挡。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能特机株式会社 喷嘴单元、坩埚、蒸发源以及蒸镀装置

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