申请/专利权人：中国电子科技集团公司第十一研究所

申请日：2022-01-14

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN114459608B

主分类号：G01J5/08

分类号：G01J5/08;G01J5/0813;G02B7/198

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.05.27#实质审查的生效;2022.05.10#公开

摘要：本发明提出了一种反射镜装调系统及装调方法，装调系统包括：平板玻璃组件、平面反射镜组件及测量设备，沿光的传播方向，平板玻璃组件位于待装调反射镜的上游，平面反射镜组件位于待装调反射镜的下游；测量设备用于发射检测光，检测光经平板玻璃组件传递至待装调反射镜，检测光经待装调反射镜的反射光传递至平面反射镜组件，反射光经平面发射镜组件、待装调反射镜反射后，经平板玻璃组件返回至测量设备；根据测量设备接收的反射光得到测量值，通过比较测量值与设计值，对待装调反射镜的角度和距离进行调整，至测量值达到设计值。本发明摒弃了接触式的顶针测量法使用了无接触式测量，减少了镜片损伤的风险，且具有高精度装调特性。

主权项：1.一种反射镜装调系统，其特征在于，包括：平板玻璃组件，沿光的传播方向，所述平板玻璃组件位于待装调反射镜的上游；所述平板玻璃组件包括：平板玻璃和固定底座，所述平板玻璃通过所述固定底座固定于所述待装调反射镜上游；平面反射镜组件，沿光的传播方向，所述平面反射镜组件位于所述待装调反射镜的下游；测量设备，用于发射检测光，所述检测光经所述平板玻璃组件传递至所述待装调反射镜，所述检测光经所述待装调反射镜的反射光传递至所述平面反射镜组件，所述反射光经所述平面反射镜组件、待装调反射镜反射后，经所述平板玻璃组件返回至所述测量设备；所述测量设备包括：镜面定位仪和显示器，根据所述测量设备接收的反射光得到测量值，通过比较测量值与设计值，对所述待装调反射镜的角度和距离进行调整，至测量值达到设计值；其中，所述测量值为玻璃平板与右侧反射镜之间的距离数值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国电子科技集团公司第十一研究所 反射镜装调系统及装调方法

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