申请/专利权人：四川威纳尔特种电子材料有限公司

申请日：2023-01-09

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN116013793B

主分类号：H01L21/60

分类号：H01L21/60;C22C1/03;C22C5/02;H01L23/49

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2023.05.12#实质审查的生效;2023.04.25#公开

摘要：本发明提供了一种多元微合金化键合金丝及其制备方法和应用，所述键合金丝包括：1ppm～100ppm金属元素、99.9％～99.99％金、以及不可避免的杂质，其中，金属元素为铬、钯、铜、铟、铈和钙中的至少一种。所述制备方法包括：将0.01％～0.1％的第一金属材料和余量的黄金混合后注入保护气体，经熔炼后获得第一熔融体；在保护气氛下向第一熔融体中加入0.01％～0.1％的第二金属材料，经精炼后获得第二熔融体；将第二熔融体拉铸成圆棒，经大拉、中拉、细拉及微拉工序，得到键合金丝。本发明通过微量添加多元合金元素，利用其协同作用和优化的合金化元素在提高线材强度的同时保证金丝的导电性。

主权项：1.一种多元微合金化键合金丝的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：按质量百分比计，将0.01％～0.1％的第一金属材料和余量的黄金混合后注入保护气体，经熔炼后获得第一熔融体，其中，第一金属材料中的金属元素为Cr，或为Pd和Cu中的至少一种和Cr；所述第一金属材料中Cr按质量百分比计为3ppm～20ppm；在保护气氛下向所述第一熔融体中加入0.01％～0.1％的第二金属材料，经精炼后获得第二熔融体，其中，第二金属材料中的金属元素为In，或为Ce和Ca中的至少一种和In；所述第二金属材料中In按质量百分比计为2ppm～20ppm；将所述第二熔融体拉铸成圆棒，再将拉铸成型的圆棒依次进行大拉、中拉、细拉及微拉工序，得到所述多元微合金化键合金丝；所述熔炼为真空熔炼，真空熔炼环境中的保护气压强为1.1atm～1.2atm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 四川威纳尔特种电子材料有限公司 多元微合金化键合金丝及其制备方法和应用

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