申请/专利权人：苏州美图半导体技术有限公司

申请日：2019-05-14

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN110053289B

主分类号：B30B9/00

分类号：B30B9/00;B30B15/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2019.08.20#实质审查的生效;2019.07.26#公开

摘要：本发明涉及一种真空胶键合机，其包括能抽真空的真空腔体，在所述真空腔体的顶部设置可开关的腔盖板，在所述真空腔体内设置焊接波纹管，在所述焊接波纹管的外侧设置波纹管导向柱，在焊接波纹上方设置波纹管转接板，在所述波纹管转接板上设置能将待键合的两衬底保持对准的夹具体组件，在所述夹具体组件内设置用于对衬底进行支撑的下压头，所述下压头通过下隔热板支撑于波纹管转接板上，在所述下压头的正上方设置安装于腔盖板上的上压头，所述腔盖板压盖在真空腔体上时，上压头位于真空腔体内。本发明能满足胶键合过程中的小压力与高压力均匀性的需求，使用方便，安全可靠。

主权项：1.一种真空胶键合机，包括能抽真空的真空腔体（10），在所述真空腔体（10）的顶部设置可开关的腔盖板（7），所述腔盖板（7）压盖在真空腔体（10）时，利用腔盖板（7）能密封真空腔体（10）的顶端；其特征是：在所述真空腔体（10）内设置能充入正压气体的焊接波纹管（36），在所述焊接波纹管（36）的外侧设置能对焊接波纹管（36）升降导向的波纹管导向柱（33），在焊接波纹管（36）上方设置波纹管转接板（35），在所述波纹管转接板（35）上设置能将待键合的两衬底（37）保持对准的夹具体组件（29），在所述夹具体组件（29）内设置用于对衬底（37）进行支撑的下压头（31），所述下压头（31）通过下隔热板（32）支撑于波纹管转接板（35）上，在所述下压头（31）的正上方设置安装于腔盖板（7）上的上压头（26），所述腔盖板（7）压盖在真空腔体（10）上时，上压头（26）位于真空腔体（10）内；通过真空腔体（10）底部的气体连接口（66）向焊接波纹管（36）充入正压气体时，焊接波纹管（36）能通过波纹管转接板（35）驱动下压头（31）向靠近上压头（26）的方向运动，当下压头（31）上的衬底（37）与上压头（26）接触时，通过焊接波纹管（36）能为位于上压头（26）与下压头（31）之间衬底（37）的胶键合提供所需的键合压力；所述夹具体组件（29）包括夹具本体（43），所述夹具本体（43）通过夹具体定位柱（42）支撑在波纹管转接板（35）上，在夹具本体（43）内设置用于衬底（37）放置的衬底定位孔（56），所述衬底定位孔（56）位于夹具本体（43）的中心区且衬底定位孔（56）贯通夹具本体（43），在夹具本体（43）上设置若干均匀分布的衬底间隔定位机构，在下压头（31）上的衬底（37）与上压头（26）接触前，通过衬底间隔定位机构能使得下压头（31）上的两衬底（37）处于间隔状态；所述衬底间隔定位机构包括能置于两衬底（37）之间的衬底垫片（54）、与所述衬底垫片（54）连接的垫片滑块（50）以及用于提供垫片滑块（50）向远离夹具本体（43）中心方向运动作用力的滑块拉簧（53）；垫片滑块（50）在夹具本体（43）上能沿所述垫片滑块（50）的长度方向运动；还包括能控制垫片滑块（50）在夹具本体（43）上运动状态的滑块插销机构，所述滑块插销机构包括与夹具本体（43）固定连接的挡块（51）以及能在所述挡块（51）内运动的滑块插销体（48），在垫片滑块（50）上设置滑块插销导向孔（62），所述滑块插销导向孔（62）贯通垫片滑块（50）且沿垫片滑块（50）的长度方向分布；在夹具本体（43）内的定位球体（61）以及设置于夹具本体（43）内并能与定位球体（61）适配的球体弹簧（60）；滑块插销体（48）的第一端从挡块（51）穿出，滑块插销体（48）的第二端穿过滑块插销导向孔（62）后能邻近定位球体（61）；定位球体（61）位于垫片滑块（50）的下方，定位球体（61）在球体弹簧（60）作用下与垫片滑块（50）接触时，通过定位球体（61）能阻挡垫片滑块（50）运动，通过滑块插销体（48）使得定位球体（61）远离垫片滑块（50）时，垫片滑块（50）在滑块拉簧（53）作用下能带动衬底垫片（54）向靠近挡块（51）的方向运动；在下压头（31）与下隔热板（32）之间设置加热器（34），上压头（26）通过上隔热板（25）、盖板连接板（24）固定安装于腔盖板（7）上，在腔盖板（7）通过铰链（6）与真空腔体（10）连接，所述腔盖板（7）通过腔盖板锁能锁紧在真空腔体（10）上。

全文数据：真空胶键合机技术领域本发明涉及一种键合机，尤其是一种真空胶键合机，属于微纳米加工的技术领域。背景技术在微纳米技术领域，胶键合工艺应用越来越广泛。胶键合对压力均匀性要求极高，且需要的压力较其他键合工艺所需压力小很多，然而目前的键合机施加压力方式为气缸施力或成型波纹管施力。气缸施力方式可施加很大的力，但是其力的均匀性非常差。成型波纹管施力过程中可以产生一定形变，可以有效的提高压力均匀性，但由于成型波纹管的加工工艺和其壁厚的原因，使得成型波纹管施力分辨率很低，通常在1000N以上。显然这两种施力方式对胶键合工艺的小压力、高压力均匀性来说是不适用的。发明内容本发明的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种真空胶键合机，其能满足胶键合过程中的小压力与高压力均匀性的需求，使用方便，安全可靠。按照本发明提供的技术方案，所述真空胶键合机，包括能抽真空的真空腔体，在所述真空腔体的顶部设置可开关的腔盖板，所述腔盖板压盖在真空腔体时，利用腔盖板能密封真空腔体的顶端；在所述真空腔体内设置能充入正压气体的焊接波纹管，在所述焊接波纹管的外侧设置能对焊接波纹管升降导向的波纹管导向柱，在焊接波纹上方设置波纹管转接板，在所述波纹管转接板上设置能将待键合的两衬底保持对准的夹具体组件，在所述夹具体组件内设置用于对衬底进行支撑的下压头，所述下压头通过下隔热板支撑于波纹管转接板上，在所述下压头的正上方设置安装于腔盖板上的上压头，所述腔盖板压盖在真空腔体上时，上压头位于真空腔体内；通过真空腔体底部的气体连接口向焊接波纹管充入正压气体时，焊接波纹管能通过波纹管转接板驱动下压头向靠近上压头的方向运动，当下压头上的衬底与上压头接触时，通过焊接波纹管能为位于上压头与下压头之间衬底的胶键合提供所需的键合压力。在下压头与下隔热板之间设置加热器，上压头通过上隔热板、盖板连接板固定安装于腔盖板上，在腔盖板通过铰链与真空腔体连接，所述腔盖板通过腔盖板锁能锁紧在真空腔体上。在所述腔盖板上设置盖板拉手，所述腔盖板锁包括设置于真空腔体顶端的锁紧底座以及设置于所述腔盖板上的盖板压块，在所述锁紧底座内通过锁体转轴安装有手柄连接块，在所述手柄连接块上设置可转动的手柄。在所述真空腔体的顶端设置腔体密封转接板，腔盖板能与腔体密封转接板适配连接，在真空腔体上还设置观察窗盖板以及设置于所述观察窗盖板内的观察窗玻璃。所述夹具体组件包括夹具本体，所述夹具本体通过夹具体定位柱支撑在波纹管转接板上，在夹具本体内设置用于衬底放置的衬底定位孔，所述衬底定位孔位于夹具本体的中心区且衬底定位孔贯通夹具本体，在夹具本体上设置若干均匀分布的衬底间隔定位机构，在下压头上的衬底与上压头接触前，通过衬底间隔定位机构能使得下压头上的两衬底处于间隔状态。所述衬底间隔定位机构包括能置于两衬底之间的衬底垫片、与所述衬底垫片连接的垫片滑块以及用于提供垫片滑块向远离夹具本体中心方向运动作用力的滑块拉簧；垫片滑块在夹具本体上能沿所述垫片滑块的长度方向运动；还包括能控制垫片滑块在夹具本体上运动状态的滑块插销机构，所述滑块插销机构包括与夹具本体固定连接的挡块以及能在所述挡块内运动的滑块插销体，在垫片滑块上设置滑块插销导向孔，所述滑块插销导向孔贯通垫片滑块且沿垫片滑块的长度方向分布；在夹具本体内的定位球体以及设置于夹具本体内并能与定位球体适配的球体弹簧；滑块插销体的第一端从挡块穿出，滑块插销体的第二端穿过滑块插销导向孔后能邻近定位球体；定位球体位于垫片滑块的下方，定位球体在球体弹簧作用下与垫片滑块接触时，通过定位球体能阻挡垫片滑块运动，通过滑块插销体使得定位球体远离垫片滑块时，垫片滑块在滑块拉簧作用下能带动衬底垫片向靠近挡块的方向运动。还包括能与滑块插销体适配连接的弹性柱塞，所述弹性柱塞通过弹性柱塞安装块能与腔盖板适配连接，所述弹性柱塞的数量夹具本体上的衬底间隔定位机构呈一一对应；通过焊接波纹管驱动夹具本体运动时，弹性柱塞能与滑块插销体配合，并能按压所述滑块插销体。在夹具本体内设置垫片滑块下滑板体，在垫片滑块的下表面设置垫片滑块上滑板体，通过垫片滑块上滑板体与垫片滑块下滑板体配合能使得垫片滑块在夹具本体上滑动。在夹具本体内还设置用于防止衬底偏移的侧面挡片机构，所述侧面挡片机构包括能与波纹管转接板固定的挡片定位柱）、套设于所述挡片定位柱上的导向套以及与所述导向套固定的侧面挡片，所述侧面挡片能跟随导向套相对挡片定位柱运动。所述真空腔体装配于架体顶端的架体盖板上，在所述架体正面的上部通过扭矩铰链安装有触摸显示屏，在架体的底端设置均匀分布的脚轮。本发明的优点：通过真空腔体底部的气体连接口向焊接波纹管充入正压气体时，焊接波纹管能通过波纹管转接板驱动下压头向靠近上压头的方向运动，当下压头上的衬底与上压头接触时，通过焊接波纹管能为位于上压头与下压头之间衬底的胶键合提供所需的键合压力，即利用焊接波纹管既能保证压力的均匀性，又能提供较高的压力分辨率，安全可靠。附图说明图1为本发明的结构示意图。图2为本发明真空腔体内的剖视图。图3为本发明上压头与下压头接触后的剖视图。图4为本发明夹具体组件与波纹管转接板配合的示意图。图5为本发明侧面挡片机构与下压头间的配合示意图。图6为本发明夹具体组件的示意图。图7为本发明衬底间隔定位机构的剖视图。图8为本发明衬底间隔定位机构内衬底垫片远离夹具本体中心区时的示意图。图9为图8中衬底间隔定位机构的剖视图。附图标记说明：1-手柄、2-盖板压块、3-手柄连接块、4-锁紧底座、5-锁体转轴、6-铰链、7-腔盖板、8-盖板拉手、9-腔体密封转接板、10-真空腔体、11-观察窗盖板、12-观察窗玻璃、13-架体盖板、14-架体、15-内嵌拉手、16-侧面板、17-扭矩铰链、18-显示屏壳体、19-触摸显示屏、20-启动按钮、21-前固定门板、22-前门板、23-脚轮、24-盖板连接板、25-上隔热板、26-上压头、27-弹性柱塞安装块、28-弹性柱塞、29-夹具体组件、30-侧面挡片机构、31-下压头、32-下隔热板、33-波纹管导向柱、34-加热器、35-波纹管转接板、36-焊接波纹管、37-衬底、38-侧面挡片、39-侧面挡片固定螺丝、40-导向套、41-波纹管转接板导向连接孔、42-夹具体定位柱、43-夹具本体、44-套体弹簧、45-导向柱固定板、46-挡片定位柱、47-固定板固定螺丝、48-滑块插销体、49-挡块盖板、50-垫片滑块、51-挡块、52-第一拉簧固定螺丝、53-滑块拉簧、54-衬底垫片、55-第二拉簧固定螺丝、56-衬底定位孔、57-垫片滑块上滑板体、58-垫片滑块下滑板体、59-垫片滑块下滑板体固定螺丝、60-球体弹簧、61-定位球体、62-滑块插销导向孔、63-垫片滑块上滑板体固定螺丝、64-滑块插销体弹簧以及65-导向套定位孔与66-气体连接口。具体实施方式下面结合具体附图和实施例对本发明作进一步说明。如图1、图2和图3所示：为了能满足胶键合过程中的小压力与高压力均匀性的需求，本发明包括能抽真空的真空腔体10，在所述真空腔体10的顶部设置可开关的腔盖板7，所述腔盖板7压盖在真空腔体10时，利用腔盖板7能密封真空腔体10的顶端；在所述真空腔体10内设置能充入正压气体的焊接波纹管36，在所述焊接波纹管36的外侧设置能对焊接波纹管36升降导向的波纹管导向柱33，在焊接波纹36上方设置波纹管转接板35，在所述波纹管转接板35上设置能将待键合的两衬底37保持对准的夹具体组件29，在所述夹具体组件29内设置用于对衬底37进行支撑的下压头31，所述下压头31通过下隔热板32支撑于波纹管转接板35上，在所述下压头31的正上方设置安装于腔盖板7上的上压头26，所述腔盖板7压盖在真空腔体10上时，上压头26位于真空腔体10内；通过真空腔体10底部的气体连接口66向焊接波纹管36充入正压气体时，焊接波纹管36能通过波纹管转接板35驱动下压头31向靠近上压头26的方向运动，当下压头31上的衬底37与上压头26接触时，通过焊接波纹管36能为位于上压头26与下压头31之间衬底37的胶键合提供所需的键合压力。具体地，真空腔体10呈方形的盒状，腔盖板7与真空腔体10的顶端适配，通过腔盖板7能打开真空腔体10的顶部，当腔盖板7压盖在真空腔体10上时，利用腔盖板7能密封真空腔体10的上端部。通过腔盖板7打开真空腔体10的顶部时，能将待键合的衬底37置于下压头31上，或者将键合后的衬底37从真空腔体10内取出。焊接波纹管36位于真空腔体10内的下部，在真空腔体10还设置波纹管导向柱33，通过波纹管导向柱33能对焊接波纹管36充放气过程中的升降进行导向。波纹管转接板35与焊接波纹管36的顶部连接，夹具体组件29位于波纹管转接板35上方，通过夹具体组件29能使得待键合的衬底37保持对准，通过下压头31能对待键合的衬底37进行支撑，下压头31通过下隔热板32支撑于波纹管转接板35上。当对焊接波纹管36充气后，焊接波纹管36能驱动波纹管转接板35向靠近上压头26的方向运动，在波纹管导向柱33的作用下，波纹管转接板35能带动下压头31以及夹具体组件29同步运动。当下压头31上的衬底37与上压头26接触时，通过焊接波纹管36能为位于上压头26与下压头31之间衬底37的胶键合提供所需的键合压力，即能实现对两衬底37的胶键合过程。在波纹管转接板35上设置波纹管转接板导向连接孔41，波纹管转接板35通过波纹管转接板导向连接孔41能与波纹管导向柱33连接配合，波纹管导向柱35能在波纹管导向柱33的导向下升降。进一步地，在下压头31与下隔热板32之间设置加热器34，上压头26通过上隔热板25、盖板连接板24固定安装于腔盖板7上，在腔盖板7通过铰链6与真空腔体10连接，所述腔盖板7通过腔盖板锁能锁紧在真空腔体10上。本发明实施例中，加热器34可以采用现有常用的加热形式，如电阻加热等，通过加热器34能对下压头31进行加热，提供衬底37键合所需的温度，衬底37在胶键合时的温度一般在250℃以下，可以根据实际温度需要控制加热器34进行加热，具体控制加热的过程为本技术领域人员所熟知，此处不再赘述。盖板连接板24固定在腔盖板7的内表面上，上隔热板25固定在盖板连接板24上，上压头26固定在上隔热板25上，上隔热板25位于上压头26与盖板连接板24之间。上压头26的形状等与下压头31适配，从而当上压头26与下压头31上的衬底37接触时，在上压头26与下压头31提供的压力作用下能实现两衬底37之间的键合。进一步地，在所述腔盖板7上设置盖板拉手8，所述腔盖板锁包括设置于真空腔体10顶端的锁紧底座4以及设置于所述腔盖板7上的盖板压块2，在所述锁紧底座4内通过锁体转轴5安装有手柄连接块3，在所述手柄连接块3上设置可转动的手柄1。本发明实施例中，通过盖板拉手8能方便拉动腔盖板7，手柄1呈L型，在盖板压块2上设置能与手柄1适配的缺口，当手柄1与盖板压块2正对应时，利用手柄1对盖板压块2的阻挡，能避免腔盖板7被打开。当转动手柄1且使得手柄1与盖板压盖2非对应时，能使得腔盖板7处于打开状态。此外，在所述真空腔体10的顶端设置腔体密封转接板9，腔盖板7能与腔体密封转接板9适配连接，在真空腔体10上还设置观察窗盖板11以及设置于所述观察窗盖板11内的观察窗玻璃12。本发明实施例中，观察窗盖板11设置于真空腔体10的正面和或侧面，通过观察窗玻璃12能观察真空腔体10的情况。如图4、图6和图8所示，所述夹具体组件29包括夹具本体43，所述夹具本体43通过夹具体定位柱42支撑在波纹管转接板35上，在夹具本体43内设置用于衬底37放置的衬底定位孔56，所述衬底定位孔56位于夹具本体43的中心区且衬底定位孔56贯通夹具本体43，在夹具本体43上设置若干均匀分布的衬底间隔定位机构，在下压头31上的衬底37与上压头26接触前，通过衬底间隔定位机构能使得下压头31上的两衬底37处于间隔状态。本发明实施例中，夹具本体43呈圆环状，夹具本体43与波纹管转接板35间相互平行，通过夹具体定位柱42能使得夹具本体43支撑在波纹管转接板35上。衬底定位孔56与衬底37适配，从而衬底37通过衬底定位孔56能放置在下压头31上。在下压头31上的衬底37与上压头26接触前，通过衬底间隔定位机构能使得下压头31上的两衬底37处于间隔状态，所述间隔状态具体是指两个衬底37未接触，确保在键合时，两衬底37之间没有气体，为后续下压头31与上压头26配合对衬底37施加键合压力进行键合准备。进一步地，所述衬底间隔定位机构包括能置于两衬底37之间的衬底垫片54、与所述衬底垫片54连接的垫片滑块50以及用于提供垫片滑块50向远离夹具本体43中心方向运动作用力的滑块拉簧53；垫片滑块50在夹具本体43上能沿所述垫片滑块50的长度方向运动；还包括能控制垫片滑块50在夹具本体43上运动状态的滑块插销机构，所述滑块插销机构包括与夹具本体43固定连接的挡块51以及能在所述挡块51内运动的滑块插销体48，在垫片滑块50上设置滑块插销导向孔62，所述滑块插销导向孔62贯通垫片滑块50且沿垫片滑块50的长度方向分布；在夹具本体43内的定位球体61以及设置于夹具本体43内并能与定位球体61适配的球体弹簧60；滑块插销体48的第一端从挡块51穿出，滑块插销体48的第二端穿过滑块插销导向孔62后能邻近定位球体61；定位球体61位于垫片滑块50的下方，定位球体61在球体弹簧60作用下与垫片滑块50接触时，通过定位球体61能阻挡垫片滑块50运动，通过滑块插销体48使得定位球体61远离垫片滑块50时，垫片滑块50在滑块拉簧53作用下能带动衬底垫片54向靠近挡块51的方向运动。本发明实施例中，衬底垫片54位于垫片滑块50邻近夹具本体43中心区的端部，衬底垫片54与垫片滑块50呈同轴分布，且垫片滑块50的轴线通过夹具本体43的中心。在夹具本体43上设置第一拉簧固定螺丝52，在垫片滑块50上设置第二拉簧固定螺丝55，第二拉簧固定螺丝55在垫片滑块50上邻近衬底垫片54，通过滑块拉簧53能提供垫片滑块50向远离夹具本体43中心方向运动的作用力，垫片滑块50在夹具本体43上运动的方向与垫片滑块50的长度方向相一致。由于滑块拉簧53能提供垫片滑块50运动的作用力，为了能对衬底垫片54的位置状态进行控制，需要通过滑块插销机构与垫片滑块50配合。滑块插销导向孔62贯通垫片滑块50，且滑块插销导向孔62长度方向与垫片滑块50的长度方向相一致。为了能与垫片滑块50配合，滑块插销体48的长度方向与垫片滑块50的长度方向垂直，滑块插销体48设置于挡块51上，滑块插销体48在挡块51上能沿所述滑块插销体48的长度方向运动，在挡块51内设置滑块插销体弹簧64，当按压滑块插销体48向靠近定位球体61的方向运动时，通过滑块插销体48能压缩滑块插销体弹簧64，滑块插销体48的第一端穿出挡块51外，从而能方便实现对滑块插销体48的按压。定位球体61位于夹具本体43内，且定位球体61与滑块插销体48的第二端正对应，在夹具本体43内还设置球体弹簧60，一般情况下，定位球体61与球体弹簧60配合，定位球体61能凸出于夹具本体43的表面，从而利用定位球体61与垫片滑块50配合，能阻挡垫片滑块50的运动，即在滑块拉簧53的作用下，由于定位球体61的阻挡作用，垫片滑块50不会在夹具本体43上运动。滑块插销导向孔62与滑块插销体48的第二端适配，从而滑块插销体48的第二端能穿过滑块插销导向孔62后靠近定位球体61。在按压滑块插销体48后，滑块插销体48的第二端能与定位球体61接触并能将定位球体61推入夹具本体43内，当定位球体61与垫片滑块50之间分离时，则垫片滑块50在滑块拉簧53作用下能运动，即能使得衬底垫片54能远离所对应的真空吸附孔2。当移除施加在滑块插销体48的作用力时，在滑块插销体弹簧64作用下能使得滑块插销体48复位，在球体弹簧60的作用下能使得定位球体61复位，此时，衬底垫片54在垫片滑块50作用下能向靠近所对应真空吸附孔2的方向运动。由上述说明可知，当衬底垫片54向靠近挡块51的方向运动后，能不会影响底层硅片置于夹具本体43上，而当衬底垫片54向靠近所对应真空吸附孔2的方向运动时，则衬底垫片54能置于底层硅片上。在具体实施时，在挡块51上还设置挡块盖板49。为了能实现垫片滑块50在夹具本体43上平稳移动，在夹具本体43内设置垫片滑块下滑板体58，在垫片滑块50的下表面设置垫片滑块上滑板体57，通过垫片滑块上滑板体57与垫片滑块下滑板体58配合能使得垫片滑块50在夹具本体43上滑动。垫片滑块下滑板体58通过垫片滑块下滑板体固定螺丝59与夹具本体43固定，垫片滑块上滑板体57通过垫片滑块上滑板体固定螺丝63与垫片滑块50固定连接。垫片滑块上滑板体57、垫片滑块下滑板体58的表面均较为光滑，通过垫片滑块上滑板体57、垫片滑块下滑板体58配合能确保垫片滑块50在夹具本体43上滑动的稳定性与可靠性。进一步地，还包括能与滑块插销体48适配连接的弹性柱塞28，所述弹性柱塞28通过弹性柱塞安装块27能与腔盖板7适配连接，所述弹性柱塞28的数量夹具本体43上的衬底间隔定位机构呈一一对应；通过焊接波纹管36驱动夹具本体43运动时，弹性柱塞28能与滑块插销体48配合，并能按压所述滑块插销体48。本发明实施例中，弹性柱塞安装块27安装于盖板连接板24上，弹性柱塞28位于上压头26的外圈。由上述说明可知，当需要垫片滑块50向远离夹具本体43中心的方向运动时，需要对滑块插销体48进行按压。在具体实施时，通过焊接波纹管36驱动夹具本体43向靠近弹性柱塞28的方向运动时，弹性柱塞28能与滑块插销体48接触，随着夹具本体43不断地靠近弹性柱塞28，能实现通过弹性柱塞28对滑块插销体48的按压，从而能实现通过垫片滑块50带动衬底垫片54向远离夹具本体43的中心区运动，当衬底垫片54向远离夹具本体43的中心区运动后，能停止衬底垫片54对下压头31上两个衬底37的间隔，为后续两个衬底37接触以及键合做准备。如图2、图6和图7所示，为弹性柱塞28未对滑块插销体48进行按压的示意图，如图3、图8和图9所示，为弹性柱塞28对滑块插销体48按压后，使得衬底垫片54跟随垫片滑块50在夹具本体43上运动后的示意图。如图5所示，在夹具本体43内还设置用于防止衬底37偏移的侧面挡片机构30，所述侧面挡片机构30包括能与波纹管转接板35固定的挡片定位柱46、套设于所述挡片定位柱46上的导向套40以及与所述导向套40固定的侧面挡片38，所述侧面挡片38能跟随导向套40相对挡片定位柱46运动。本发明实施例中，在夹具本体43内设置导向套定位孔65，所述导向套定位孔65与衬底定位孔56相连通。通过导向套定位孔65能允许导向套40的嵌置，挡片定位柱46的底端设置导向柱固定板45，通过固定板固定螺丝47能使得导向柱固定板45与波纹管转接板35固定，挡片定位柱46的长度方向垂直波纹管转接板35。在导向套40内设置套体弹簧44，侧面挡片38通过侧面挡片固定螺丝39与导向套40固定。当衬底37位于衬底定位孔56内后，利用侧面挡片38与衬底37外圈边缘的配合，能使得衬底37位于下压头31的中心区，避免衬底37发生偏移，影响后续的键合。在具体使用时，侧面挡片38可以转动或跟随导向套40相对挡片定位柱46升降，以适应不同情况下对衬底37外圈边缘的阻挡。进一步地，所述真空腔体10装配于架体14顶端的架体盖板13上，在所述架体14正面的上部通过扭矩铰链17安装有触摸显示屏19，在架体14的底端设置均匀分布的脚轮23。本发明实施例中，架体14呈柜式或其他形式，在架体14内可以存储能对焊接波纹管36进行充气的气源，以及控制加热器34加热状态的控制器等，具体可以根据需要进行设置，架体14内的气源能与真空腔体10底端的气体连接口66适配连接，从而能向焊接波纹管36内充入所需的正压气体。在架体14的侧面板16上设置内嵌拉手15，在架体14的正面上部设置前固定门板21，在前固定门板21的正下方设置前门板22，触摸显示屏19设置于显示屏壳体18内，在显示屏壳体18上还设置启动按钮20，通过启动按钮20能启动触摸显示屏19，触摸显示屏19可以采用现有常用的形式，触摸显示屏19能与架体14内的控制器等连接，以能实现对焊接波纹管36充气状态的显示与控制，具体控制过程可以根据需要进行选择，具体为本技术领域人员所熟知，此处不再赘述。具体工作时，将衬底37与夹具体组件29放入真空腔体10内，衬底37支撑于下压头31上，两片衬底37由衬底垫片38隔开，在真空腔体10抽真空时两片衬底键合面之间没有空气；衬底37的边缘被侧面挡片38卡住，保证两衬底37相对位置不会发生偏移。真空腔体10抽真空（50Pa以下）时，向焊接波纹管36内充入正压气体，焊接波纹管36在气压的作用下会上升。上升过程中：滑块插销体48会与弹性柱塞28接触且受到向下的力，此时垫片滑块50带动衬底垫片54在滑块拉簧53的作用下向远离夹具本体43中心的方向运动，从而能使得两片衬底37接触。焊接波纹管36继续上升时，能驱动衬底37与上压头26接触，这时焊接波纹管38通过驱动下压头31向上压头26运动，从而能为置于上压头26与下压头31间的衬底37的胶键合提供键合压力。本发明实施例中，焊接波纹管36是一种由许多以冲压方式成型的薄形中空膜片，利用精密焊接所制成的高度可弯曲及伸缩的金属管，焊接波纹管36具有柔性好、变形量大、寿命长等优点，既能保证压力均匀性又能提供较高的压力分辨率（可做到10N），即本申请利用焊接波纹管36驱动波纹管转接板35升降，进而带动下压头31向上压头26运动，并在上压头26与衬底37接触时，通过下压头31与上压头26能向衬底37施加所需的键合力，满足实际的键合需求。

权利要求：1.一种真空胶键合机，包括能抽真空的真空腔体（10），在所述真空腔体（10）的顶部设置可开关的腔盖板（7），所述腔盖板（7）压盖在真空腔体（10）时，利用腔盖板（7）能密封真空腔体（10）的顶端；其特征是：在所述真空腔体（10）内设置能充入正压气体的焊接波纹管（36），在所述焊接波纹管（36）的外侧设置能对焊接波纹管（36）升降导向的波纹管导向柱（33），在焊接波纹（36）上方设置波纹管转接板（35），在所述波纹管转接板（35）上设置能将待键合的两衬底（37）保持对准的夹具体组件（29），在所述夹具体组件（29）内设置用于对衬底（37）进行支撑的下压头（31），所述下压头（31）通过下隔热板（32）支撑于波纹管转接板（35）上，在所述下压头（31）的正上方设置安装于腔盖板（7）上的上压头（26），所述腔盖板（7）压盖在真空腔体（10）上时，上压头（26）位于真空腔体（10）内；通过真空腔体（10）底部的气体连接口（66）向焊接波纹管（36）充入正压气体时，焊接波纹管（36）能通过波纹管转接板（35）驱动下压头（31）向靠近上压头（26）的方向运动，当下压头（31）上的衬底（37）与上压头（26）接触时，通过焊接波纹管（36）能为位于上压头（26）与下压头（31）之间衬底（37）的胶键合提供所需的键合压力。2.根据权利要求1所述的真空胶键合机，其特征是：在下压头（31）与下隔热板（32）之间设置加热器（34），上压头（26）通过上隔热板（25）、盖板连接板（24）固定安装于腔盖板（7）上，在腔盖板（7）通过铰链（6）与真空腔体（10）连接，所述腔盖板（7）通过腔盖板锁能锁紧在真空腔体（10）上。3.根据权利要求2所述的真空胶键合机，其特征是：在所述腔盖板（7）上设置盖板拉手（8），所述腔盖板锁包括设置于真空腔体（10）顶端的锁紧底座（4）以及设置于所述腔盖板（7）上的盖板压块（2），在所述锁紧底座（4）内通过锁体转轴（5）安装有手柄连接块（3），在所述手柄连接块（3）上设置可转动的手柄（1）。4.根据权利要求1所述的真空胶键合机，其特征是：在所述真空腔体（10）的顶端设置腔体密封转接板（9），腔盖板（7）能与腔体密封转接板（9）适配连接，在真空腔体（10）上还设置观察窗盖板（11）以及设置于所述观察窗盖板（11）内的观察窗玻璃（12）。5.根据权利要求1所述的真空胶键合机，其特征是：所述夹具体组件（29）包括夹具本体（43），所述夹具本体（43）通过夹具体定位柱（42）支撑在波纹管转接板（35）上，在夹具本体（43）内设置用于衬底（37）放置的衬底定位孔（56），所述衬底定位孔（56）位于夹具本体（43）的中心区且衬底定位孔（56）贯通夹具本体（43），在夹具本体（43）上设置若干均匀分布的衬底间隔定位机构，在下压头（31）上的衬底（37）与上压头（26）接触前，通过衬底间隔定位机构能使得下压头（31）上的两衬底（37）处于间隔状态。6.根据权利要求5所述的真空胶键合机，其特征是：所述衬底间隔定位机构包括能置于两衬底（37）之间的衬底垫片（54）、与所述衬底垫片（54）连接的垫片滑块（50）以及用于提供垫片滑块（50）向远离夹具本体（43）中心方向运动作用力的滑块拉簧（53）；垫片滑块（50）在夹具本体（43）上能沿所述垫片滑块（50）的长度方向运动；还包括能控制垫片滑块（50）在夹具本体（43）上运动状态的滑块插销机构，所述滑块插销机构包括与夹具本体（43）固定连接的挡块（51）以及能在所述挡块（51）内运动的滑块插销体（48），在垫片滑块（50）上设置滑块插销导向孔（62），所述滑块插销导向孔（62）贯通垫片滑块（50）且沿垫片滑块（50）的长度方向分布；在夹具本体（43）内的定位球体（61）以及设置于夹具本体（43）内并能与定位球体（61）适配的球体弹簧（60）；滑块插销体（48）的第一端从挡块（51）穿出，滑块插销体（48）的第二端穿过滑块插销导向孔（62）后能邻近定位球体（61）；定位球体（61）位于垫片滑块（50）的下方，定位球体（61）在球体弹簧（60）作用下与垫片滑块（50）接触时，通过定位球体（61）能阻挡垫片滑块（50）运动，通过滑块插销体（48）使得定位球体（61）远离垫片滑块（50）时，垫片滑块（50）在滑块拉簧（53）作用下能带动衬底垫片（54）向靠近挡块（51）的方向运动。7.根据权利要求6所述的真空胶键合机，其特征是：还包括能与滑块插销体（48）适配连接的弹性柱塞（28），所述弹性柱塞（28）通过弹性柱塞安装块（27）能与腔盖板（7）适配连接，所述弹性柱塞（28）的数量夹具本体（43）上的衬底间隔定位机构呈一一对应；通过焊接波纹管（36）驱动夹具本体（43）运动时，弹性柱塞（28）能与滑块插销体（48）配合，并能按压所述滑块插销体（48）。8.根据权利要求6或7所述的真空胶键合机，其特征是：在夹具本体（43）内设置垫片滑块下滑板体（58），在垫片滑块（50）的下表面设置垫片滑块上滑板体（57），通过垫片滑块上滑板体（57）与垫片滑块下滑板体（58）配合能使得垫片滑块（50）在夹具本体（43）上滑动。9.根据权利要求5所述的真空胶键合机，其特征是：在夹具本体（43）内还设置用于防止衬底（37）偏移的侧面挡片机构（30），所述侧面挡片机构（30）包括能与波纹管转接板（35）固定的挡片定位柱（46）、套设于所述挡片定位柱（46）上的导向套（40）以及与所述导向套（40）固定的侧面挡片（38），所述侧面挡片（38）能跟随导向套（40）相对挡片定位柱（46）运动。10.根据权利要求1所述的真空胶键合机，其特征是：所述真空腔体（10）装配于架体（14）顶端的架体盖板（13）上，在所述架体（14）正面的上部通过扭矩铰链（17）安装有触摸显示屏（19），在架体（14）的底端设置均匀分布的脚轮（23）。

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