申请/专利权人：中芯集成电路(宁波)有限公司

申请日：2020-03-10

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN112039482B

主分类号：H03H9/17

分类号：H03H9/17;H03H3/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2020.12.22#实质审查的生效;2020.12.04#公开

摘要：本发明公开一种薄膜压电声波谐振器、滤波器及电子设备，包括：从上至下依次叠置的上电极、压电层和下电极；在有效谐振区上电极、压电层和下电极依次重叠，有效谐振区在压电层方向上的投影为六边形；六边形具有长度最长的第一边、与第一边相对的第二边，长度最短的第三边、与第三边相对的第四边；通过有效谐振区的第一边界延伸出有效谐振区的上电极定义为上电极引出部，通过有效谐振区的第二边界延伸出有效谐振区的下电极定义为下电极引出部；第一边界和第二边界其中之一为第一边，另一为第二边；位于第三边处的第一开口，在有效谐振区外侧贯穿上电极、压电层和下电极；位于第四边处的第二开口，在有效谐振区外侧贯穿上电极、压电层和下电极。

主权项：1.一种薄膜压电声波谐振器，其特征在于，包括：从上至下依次叠置的上电极、压电层和下电极；在有效谐振区所述上电极、压电层和下电极依次重叠，且所述有效谐振区在所述压电层方向上的投影为六边形；所述六边形具有长度最长的第一边、与所述第一边相对的第二边，长度最短的第三边、与所述第三边相对的第四边；通过所述有效谐振区的第一边界延伸出所述有效谐振区的上电极定义为上电极引出部，通过所述有效谐振区的第二边界延伸出所述有效谐振区的下电极定义为下电极引出部；所述第一边界和所述第二边界其中之一为所述第一边，另一为所述第二边；第一外部信号连接端与所述上电极引出部连接，第二外部信号连接端与所述下电极引出部连接；位于第三边处的第一开口，在有效谐振区外侧贯穿所述上电极、压电层和下电极；位于第四边处的第二开口，在有效谐振区外侧贯穿所述上电极、压电层和下电极。

全文数据：

权利要求：

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