申请/专利权人：深圳市科创数字显示技术有限公司

申请日：2020-03-05

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN111338106B

主分类号：G02F1/13

分类号：G02F1/13;G02F1/1343

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2020.07.21#实质审查的生效;2020.06.26#公开

摘要：本发明提供一种硅基液晶空间光调制器及其制作方法与波长选择开关。所述硅基液晶空间光调制器包括：第一基板、与第一基板相对间隔设置的第二基板以及设于第一基板与第二基板之间的液晶层；第一基板包括：第一衬底、设于第一衬底朝向第二基板的一侧的第一电极以及设于第一电极及第一衬底上的第一配向层；第二基板包括：第二衬底、设于第二衬底朝向第一基板一侧的第二电极以及设于第二电极及第二衬底上的第二配向层；第一电极包括第一柄部及垂直连接第一柄部的间隔排列的多个第一梳齿部；第二电极包括第二柄部及垂直连接第二柄部的间隔排列的多个第二梳齿部；第一电极与第二电极组成一叉指电极，能够抑制硅基液晶空间光调制器的边缘场效应。

主权项：1.一种波长选择开关，包括硅基液晶空间光调制器，其特征在于，所述硅基液晶空间光调制器包括：第一基板10、与所述第一基板10相对间隔设置的第二基板20以及设于所述第一基板10与第二基板20之间的液晶层30；所述第一基板10包括：第一衬底11、设于所述第一衬底11朝向第二基板20的一侧的第一电极12以及设于所述第一电极12及第一衬底11上的第一配向层13；所述第二基板20包括：第二衬底21、设于所述第二衬底21朝向第一基板10一侧的第二电极22以及设于所述第二电极22及第二衬底21上的第二配向层23；所述第一电极12包括第一柄部311及垂直连接所述第一柄部311的间隔排列的多个第一梳齿部312；所述第二电极22包括第二柄部321及垂直连接所述第二柄部321的间隔排列的多个第二梳齿部322；所述第二柄部321在所述第一基板10上的正投影与所述第一柄部311相对间隔设置，所述多个第二梳齿部322在所述第一基板10上的正投影与所述多个第一梳齿部312依次交替排列；其中，所述第一衬底11为硅基衬底，第二衬底21为透明衬底；所述硅基液晶空间光调制器采用所述第一电极12和所述第二电极22共同组成一叉指电极结构，能够抑制边缘场效应，提升衍射效率。

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