申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司

申请日：2022-05-26

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN114875478B

主分类号：C30B15/14

分类号：C30B15/14;C30B15/00;C30B29/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2023.04.21#著录事项变更;2022.08.26#实质审查的生效;2022.08.09#公开

摘要：本发明提供一种加热器和单晶炉。所述加热器包括加热本体；所述加热本体呈碗状且底部具有开口；所述加热本体在周向上划分为第一加热区和第二加热区，第一加热区包括第一主加热区，第二加热区包括第二主加热区，第一主加热区和第二主加热区位于加热本体的轴向的不同高度。本发明实施例中，通过将加热本体的形状设置为与坩埚外形相适配的碗状，并且第一加热区包括的第一主加热区和第二加热区包括的第二主加热区位于加热本体的轴向的不同高度，即呈现出不对称性，从而有利于晶棒中心的轴向温度差与晶棒边缘的轴向温度差的差值变小，有利于无缺陷晶棒的生长，同时控制氧含量的有效析出，提高晶棒轴向和径向的氧含量均一性。

主权项：1.一种加热器，其特征在于，所述加热器包括加热本体；所述加热本体呈与坩埚外形相适配的碗状，且所述加热本体的底部具有开口；所述加热本体在周向上划分为第一加热区和第二加热区，第一加热区和第二加热区与坩埚的距离一致；所述第一加热区包括第一主加热区，所述第二加热区包括第二主加热区，所述第一主加热区和所述第二主加热区位于所述加热本体的轴向的不同高度；第一主加热区的加热功率大于第一加热区中除第一主加热区以外的其他区域的加热效率，第二主加热区的加热功率大于第二加热区中除第二主加热区以外的其他区域的加热效率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 一种加热器和单晶炉

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