申请/专利权人：鲁姆斯有限公司

申请日：2020-11-17

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN114599480B

主分类号：B24B9/08

分类号：B24B9/08;G02B6/12;G01B11/26

优先权：["20191125 US 62/939,708"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.06.24#实质审查的生效;2022.06.07#公开

摘要：公开了一种抛光波导的目标表面以实现相对于参考表面的垂直性的方法。该方法包括：i提供抛光装置，该抛光装置具有抛光盘以及可调节安装装置，抛光盘具有限定参考平面的平坦表面，该可调节安装装置被配置成在抛光期间将波导保持在多个角度取向；ii定位光学对准传感器及光反射装置，使得第一准直光束从与参考平面平行的表面反射，并使第二垂直准直光束从参考表面反射；iii将抛光装置内的波导对准，使得由光学对准传感器接收的反射在该光学对准传感器内对准，从而指示参考平面和参考表面之间的垂直性；以及iv抛光对准的波导的目标表面。

主权项：1.一种对波导的目标表面进行抛光以实现所述目标表面相对于所述波导的至少一个参考表面的精确垂直的方法，所述方法包括：提供抛光装置，所述抛光装置包括：抛光盘，所述抛光盘具有与抛光平面平行并且限定参考平面的平坦表面；以及可调节安装装置，所述可调节安装装置被配置成在抛光期间将波导保持在相对于所述参考平面的多个角度取向中的任一角度取向上；针对每个给定的参考表面，对相应的光学对准传感器以及对相应的光反射装置进行定位，使得第一准直光束从与所述参考平面平行的表面反射出，并且使得与所述第一准直光束垂直的第二准直光束从所述给定的参考表面反射出，所述光学对准传感器被配置成发射一个或更多个准直光束并且接收所述一个或更多个准直光束的反射，所述光反射装置被配置成将准直光束精确地反射90度；通过使用所述安装装置，在所述抛光装置内通过以下操作对准所述波导：调节所述波导的角度取向，使得针对每个给定的参考表面，由与所述给定的参考平面相对应的光学对准传感器接收的反射在所述光学对准传感器内对准，从而指示所述参考平面与所述给定的参考表面之间的垂直；以及通过使用所述抛光装置，对对准的波导的所述目标表面进行抛光。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 鲁姆斯有限公司 抛光波导表面的方法

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