申请/专利权人：苏州赛森电子科技有限公司

申请日：2022-12-16

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN116093009B

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/02;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2023.05.26#实质审查的生效;2023.05.09#公开

摘要：本发明涉及硅片去污机相关技术领域，具体为一种清洗机构，清洗机构包括清洗槽、龙门支架、液压组件、安装板、一级夹持机构、二级夹持机构，清洗槽固定在地面上，且清洗槽的后侧面设置有进液口和排液口，进液口和排液口的端口位置处均设置有阀门结构，龙门支架的横梁位于清洗槽的开口正上方；本发明通过设置由清洗槽、龙门支架、液压组件、安装板、一级夹持机构和二级夹持机构组合构成的清洗机构，从而通过一级夹持机构和二级夹持机构交替对硅片进行夹持定位，从而避免了单组夹具对硅片进行夹持时，会造成夹具的夹持位置无法实现清理的问题，而两组夹具的交替运行，便可以保证硅片的各个位置可以充分的进行清理。

主权项：1.一种清洗机构，其特征在于：所述清洗机构包括：清洗槽1，所述清洗槽1固定在地面上，且清洗槽1的后侧面设置有进液口和排液口，所述进液口和排液口的端口位置处均设置有阀门结构；龙门支架2，所述龙门支架2的横梁位于清洗槽1的开口正上方；液压组件3，所述液压组件3固定安装在龙门支架2的横梁上，且液压组件3的投影位于清洗槽1的中心位置处；安装板4，所述安装板4固定安装在液压组件3的液压杆上，且安装板4的下表面固定安装有一级安装座8和二级安装座9，所述一级安装座8和二级安装座9均对称设置有一组，且一级安装座8上转动安装有一级传动丝杠10，且一级安装座8之间固定安装有一级导杆11，所述二级安装座9上转动安装有二级传动丝杠12，且二级安装座9之间固定安装有二级导杆13，所述一级传动丝杠10通过一级驱动电机进行驱动，所述二级传动丝杠12通过二级驱动电机进行驱动；一级夹持机构5，所述一级夹持机构5活动安装在一级导杆11上；二级夹持机构6，所述二级夹持机构6活动安装在二级导杆13上；所述一级夹持机构5、二级夹持机构6均对称设置有一组，且一级夹持机构5由夹持板14、伸缩电缸15、活动板16、搭板17和夹持件18组合构成；所述夹持板14上开设有一级导杆孔19和丝杠孔20，所述一级导杆孔19与一级导杆11相对应设置，所述丝杠孔20与一级传动丝杠10相对应设置，所述二级夹持机构6与一级夹持机构5的结构相同，且二级夹持机构6与一级夹持机构5以相同的方式进行安装；所述夹持板14上设置有定位板21，所述定位板21与搭板17之间设置有三级导杆22，所述活动板16上开设有三级导杆孔25，所述三级导杆孔25与三级导杆22相对应设置，且活动板16活动安装在三级导杆22上，所述伸缩电缸15固定安装在定位板21上，且活动板16与伸缩电缸15的伸缩杆相连接，所述夹持件18固定安装在活动板16的下表面；所述一级传动丝杠10的两端分别设置有一级丝杠螺纹23和二级丝杠螺纹24，所述一级丝杠螺纹23为正向丝杠螺纹，所述二级丝杠螺纹24为反向丝杠螺纹，所述二级传动丝杠12与一级传动丝杠10的结构相同；所述夹持件18由连接杆26、连接板27、连接弹簧28、连接环29、气管30和吸盘31组合构成，所述连接杆26与活动板16固定连接，所述连接板27与连接杆26一体成型，所述连接弹簧28上端与连接板27相连接，所述连接弹簧28下端与连接环29相连接，所述连接环29与气管30一体成型，所述吸盘31与气管30的下端相连接；所述连接板27的下表面设置有密封板32，所述密封板32为柔性橡胶板，所述连接弹簧28处于复位状态时，其气管30的上端与密封板32之间留有间隙；所述一级夹持机构5、二级夹持机构6为交替对硅片7进行定位夹持。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州赛森电子科技有限公司 一种清洗机构及硅片去污机

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