申请/专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司

申请日：2024-01-09

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117542787B

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2024.03.01#实质审查的生效;2024.02.09#公开

摘要：本发明提供了一种晶圆边缘吸附装置及其吸附控制方法，包括：支撑盘、连接件以及支撑座；所述支撑盘的一侧通过所述连接件与所述支撑座连接，另一侧表面的边缘设有多个吸嘴；所述支撑盘内部设有气道；所述支撑座上设有电磁阀；所述气道通过气管连通所述吸嘴以及所述电磁阀。本发明提供的一种晶圆边缘吸附装置，可在晶圆边缘3mm内接触的情况下吸附抓取晶圆，从而避免大面积接触晶圆，造成对晶圆的污染，满足晶圆表面不可接触的晶圆抓取搬运需求。并且，本发明有效控制吸嘴的吸附力强弱，从而避免吸附力过弱或者过强造成晶圆脱落或损伤。

主权项：1.一种晶圆边缘吸附装置，其特征在于，包括：支撑盘、连接件以及支撑座；所述支撑盘的一侧通过所述连接件与所述支撑座连接，另一侧表面的边缘设有多个吸嘴；所述支撑盘内部设有气道；所述支撑座上设有电磁阀；所述气道通过气管连通所述吸嘴以及所述电磁阀。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京锐洁机器人科技有限公司 一种晶圆边缘吸附装置及其吸附控制方法

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