申请/专利权人：无锡中微掩模电子有限公司

申请日：2019-12-24

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN111025844B

主分类号：G03F1/68

分类号：G03F1/68

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2020.08.11#实质审查的生效;2020.04.17#公开

摘要：本发明公开了一种掩模工艺烘烤用托盘及夹具装置，包括托盘和夹具，所述托盘的形状为方形，且托盘的四个侧面均开设有圆孔，所述托盘的内部为掩模版，所述夹具的前端设置有卡扣，且夹具的底部设置有导杆，该导杆的数量为两组，所述夹具的下端设置有把手，且把手通过连接件与卡扣固定连接；本发明所述的一种掩模工艺烘烤用托盘及夹具装置，通过将托盘与掩模版接触面积少，从而可以有效避免对掩模版造成影响，同时通过设置夹具，使得工作人员在取版过程中不会晃动，有效避免了工作人员因直接取版而有可能造成的烫伤情况，增加了安全系数，其结构简单实用，安全可靠，使用方便，具有良好的使用前景。

主权项：1.一种掩模工艺烘烤用托盘及夹具装置，包括托盘1和夹具4，其特征在于：所述托盘1的形状为方形，且托盘1的四个侧面均开设有圆孔3，所述托盘1的内部为掩模版2，所述夹具4的前端设置有卡扣6，且夹具4的底部设置有导杆7，该导杆7的数量为两组，所述夹具4的下端设置有把手5，且把手5通过连接件8与卡扣6固定连接；所述夹具4通过导杆7插入圆孔3内，并通过卡扣6卡紧托盘1内测边缘进行固定连接；所述卡扣6通过把手5对托盘1进行卡合动作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡中微掩模电子有限公司 一种掩模工艺烘烤用托盘及夹具装置

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