申请/专利权人：大连晶博半导体材料科技有限公司

申请日：2023-08-24

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220612844U

主分类号：B23K37/04

分类号：B23K37/04;H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型涉及石英舟加工技术领域，特别是涉及一种石英舟组立机，使用机械设备完全替代石墨模具，解决现有技术中一套模具只能组立一种样式石英舟的问题。本实用新型包括工作台、组立装置、夹持装置和卡盘角度调节装置，组立装置包括卡盘、固定座、X轴滑台，夹持装置包括夹持端、夹持组件、Y轴滑台、Z轴升降装置和背板，卡盘角度调节装置包括角度调节杆和传动组件，组立装置和夹持装置配合使用实现单根石英舟槽棒的精准定位，再通过组立装置和角度调节装置配合使用实现制备不同样式的石英舟产品，有效提高产品的生产效率、产品的品质和产品的多样性。

主权项：1.一种石英舟组立机，包括工作台1、组立装置、夹持装置和卡盘角度调节装置，其特征在于：所述的组立装置包括卡盘、固定座、X轴滑台，所述的固定座为对称放置的固定座A和固定座B，所述的固定座A安装在工作台1上，所述的固定座B安装在X轴滑台上，所述的X轴滑台安装在工作台1上，所述的卡盘通过转轴旋转安装在固定座上，所述的固定座A上的卡盘A和固定座B上的卡盘B中心位于同一水平线上；所述的夹持装置包括夹持端2、夹持组件、Y轴滑台、Z轴升降装置和背板3，所述的Y轴滑台安装在工作台1上，所述的背板3安装在Y轴滑台上，所述的Z轴升降装置安装在背板3上，所述的夹持组件安装在Z轴升降装置的升降板4上，所述的夹持端2安装在夹持组件上，所述的夹持端2位于卡盘A和卡盘B的工作间距内；所述的卡盘角度调节装置包括角度调节杆7和传动组件，所述的角度调节杆7安装在工作台1上，所述的角度调节杆7分别与卡盘A和卡盘B的转轴通过传动组件相连接，所述的传动组件包括传动皮带8和皮带轮。

全文数据：

权利要求：

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